Varian TPS-compac 969-8232 Instrukcja obsługi

TPS-compact

Models:

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87-901-010-01

APRIL 2008

(I) MANUALE DI ISTRUZIONI

(D) BEDIENUNGSHANDBUCH

(F) NOTICE DE MODE D’EMPLOI

(E) MANUAL DE INSTRUCCIONES

(P) MANUAL DE INSTRUÇÕES

(NL) BEDRIJFSHANDLEIDING

(DK) INSTRUKSTIONSBOG

(S) BRUKSANVISNING

(N) INSTRUKSJON MANUAL

(FIN) OHJEKÄSIKIRJA

(GR)

ODHGIES CRHSEWS

(H) FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV

(PL) PODRECZNIK

INSTRUKCJI

(CZ) NÁVOD K POUŽITÍ

(SK) NÁVOD NA OBSLUHU

(SLO) PRIROČNIK ZA NAVODILA

(GB) INSTRUCTION MANUAL

NOTICE: This document contains references to Varian.

Please note that Varian, Inc. is now part of Agilent

Technologies. For more information, go to

www.agilent.com/chem.

TPS-compact

ISTRUZIONI PER L’USO...................................................................................................................................1

GEBRAUCHSANLEITUNG................................................................................................................................4

MODE D’EMPLOI...............................................................................................................................................8

INSTRUCCIONES DE USO.............................................................................................................................11

INSTRUÇÕES PARA O USO...........................................................................................................................15

GEBRUIKSAANWIJZINGEN............................................................................................................................18

BRUGSANVISNING.........................................................................................................................................22

BRUKSANVISNING..........................................................................................................................................25

BRUKERVEILEDNING.....................................................................................................................................28

KÄYTTÖOHJEET.............................................................................................................................................31

PDHGIES CRHSEWS ...........................................................................................................................................34

HASZNÁLATI UTASÍTÁS.................................................................................................................................37

INSTRUKCJA UZYTKOWANIA........................................................................................................................40

PŘÍRUČKA K POUŽITÍ.....................................................................................................................................44

NÁVOD K POUŽITIU........................................................................................................................................47

NAVODILA ZA UPORABO...............................................................................................................................50

INSTRUCTIONS FOR USE..............................................................................................................................53

TECHNICAL INFORMATION...........................................................................................................................56

DESCRIPTION OF THE TPS-COMPACT...................................................................................56

Turbopump Description .....................................................................................................56

Controller Description........................................................................................................56

Control Panel Description..................................................................................................56

Scroll Pump Description ....................................................................................................57

TECHNICAL SPECIFICATION....................................................................................................57

TPS-COMPACT OUTLINE ..........................................................................................................58

INLET SCREEN INSTALLATION................................................................................................60

HIGH VACUUM FLANGE CONNECTION...................................................................................61

HIGH VACUUM FLANGE CONNECTION CONFIGURATIONS.................................................61

INTERCONNECTIONS................................................................................................................62

Input power connector.......................................................................................................62

P3 – Vent...........................................................................................................................62

Gauge Connector ..............................................................................................................63

Pressure Display Module...................................................................................................63

J5 – IN-OUT.......................................................................................................................64

Signal description ..............................................................................................................64

J6 – Serial..........................................................................................................................67

RS 232/RS 485 COMMUNICATION DESCRIPTION..................................................................67

Communication Format .....................................................................................................67

Serial Communication Descriptions...................................................................................68

WINDOW PROTOCOL................................................................................................................68

Description.........................................................................................................................68

Window Meanings .............................................................................................................70

SERVICE OPTIONS....................................................................................................................71

Cleaning.............................................................................................................................72

Tip-Seal Replacement.......................................................................................................72

ORDERABLE PARTS..................................................................................................................74

ISTRUZIONI PER L'USO

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Indicazioni di Sicurezza

per

Pompe Turbomolecolari

Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata

quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa

specifica dei loro rotori.

Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra rotore e statore o per una

rottura del rotore, l'energia di rotazione potrebbe essere rilasciata.



PERICOLO!

Per evitare danni all'apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori, è

necessario seguire attentamente le istruzioni di installazione descritte

nel presente manuale!

ISTRUZIONI PER L'USO

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INFORMAZIONI GENERALI

Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale.

L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di

istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla

Varian prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Varian si ritiene

sollevata da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza

totale o parziale delle istruzioni, ad uso improprio da parte di

personale non addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso

contrario alle normative nazionali specifiche.

Il TPS-compact è un sistema integrato costituito da una pompa

turbomolecolare per applicazioni di alto e ultra alto vuoto

integrata dal relativo controller e dalla pompa primaria. Il

sistema è capace di pompare qualsiasi tipo di gas o di

composto gassoso, ma non è adatto per il pompaggio di liquidi

o di particelle solide.

L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad

elevata velocità mossa da un motore elettrico trifase ad alto

rendimento. Il TPS-compact è totalmente privo di agenti

contaminanti, ed è quindi adatto per applicazioni che richiedono

un vuoto "pulito".

Il TPS-compact ha inoltre dei connettori ausiliari tramite i quali

è possibile comandare la valvola di vent, pilotarlo da remoto

tramite un computer host collegato tramite linea seriale.

Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni

necessarie a garantire la sicurezza dell'operatore durante

l'utilizzo dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono

fornite nell'appendice “Technical information”.

Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:



PERICOLO!

I messaggi di pericolo attirano l'attenzione dell'operatore su una

procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo

corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali.

ATTENZIONE!

I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure

che, se non osservate, potrebbero causare danni all'apparec-

chiatura.

NOTA

Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal

testo.

IMMAGAZZINAMENTO

Per garantire il massimo livello di funzionalità ed affidabilità dei

sistemi di pompaggio Varian, devono essere osservate le

seguenti prescrizioni:

• durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento

delle pompe non devono essere superate le seguenti

condizioni ambientali:

• temperatura: da –20 °C a +70 °C

• umidità relativa: da 0 a 95% (non condensante)

• il cliente deve sempre avviare le pompe turbomolecolari nel

modo Soft-Start quando ricevute e messe in funzione per la

prima volta

• il tempo di immagazzinamento di una pompa

turbomolecolare è di 10 mesi dalla data di spedizione.

ATTENZIONE!

Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è

superiore, occorre reinviare il sistema di pompaggio in fabbrica.

Per ogni informazione, si prega di contattare il locale

rappresentante della Varian.

PREPARAZIONE PER L'INSTALLAZIONE

Il TPS-compact viene fornito in un imballo protettivo speciale;

se si presentano segni di danni, che potrebbero essersi

verificati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale.

Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare

attenzione a non lasciar cadere il TPS-compact e a non

sottoporlo ad urti o vibrazioni.

Non disperdere l'imballo nell'ambiente. Il materiale è

completamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85/399

per la tutela dell'ambiente.

ATTENZIONE!

Onde evitare problemi di degasamento, non toccare con le

mani nude i componenti destinati ad essere esposti al vuoto.

Utilizzare sempre i guanti o altra protezione adeguata.

NOTA

Il TPS-compact non può essere danneggiato rimanendo

semplicemente esposto all'atmosfera. Si consiglia comunque di

mantenere chiusa la pompa fino al momento dell'installazione

sul sistema onde evitare eventuale inquinamento da polvere.

INSTALLAZIONE

ATTENZIONE!

Staccare l’adesivo e togliere il tappo di protezione solo al

momento del collegamento della turbopompa al sistema.

Non installare e/o utilizzare il sistema di pompaggio in ambienti

esposti ad agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas

aggressivi, in ambienti esplosivi o con elevato rischio di

incendio.

Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le

seguenti condizioni ambientali:

− pressione massima: 2 bar oltre la pressione atmosferica

− temperatura: da + 5 °C a +35 °C

− umidità relativa: 0 - 95% (non condensante).

In presenza di campi elettromagnetici il sistema di pompaggio

deve essere protetto tramite opportuni schermi.

Il TPS-compact può essere installato in qualsiasi posizione.

Fissare il TPS-compact in posizione stabile collegando la

flangia di ingresso della turbopompa ad una controflangia fissa

capace di resistere ad una coppia di 50 Nm attorno al proprio

asse.

La turbopompa con flangia di ingresso ISO deve essere fissata

alla camera da vuoto per mezzo di morsetti doppi o morsetti

singoli. La seguente tabella descrive, per ogni tipo di morsetto,

ISTRUZIONI PER L'USO

3/74 87-901-010-01

il numero di morsetti necessari e con quale coppia di serraggio

stringerli.

FLANGIA TIPO DI MORSETTO N.

COPPIA DI

SERRAGGIO

ISO 63

Morsetto doppio

con filettatura M10

4 22 Nm

ISO 100 K

Morsetto doppio

con filettatura M10

4 22 Nm

ISO 160 K

Morsetto doppio

con filettatura M10

4 22 Nm

La turbopompa con flangia di ingresso ConFlat deve essere

fissata alla camera da vuoto per mezzo dell'apposita minuteria

meccanica Varian. Per ulteriori dettagli vedere l'appendice

"Technical Information".

NOTA

Il TPS-compact non può essere fissato tramite la sua base.

Per l'installazione degli accessori opzionali, vedere "Technical

Information".

USO

In questo paragrafo sono riportate le principali procedure

operative.

Prima di usare il sistema effettuare tutti i collegamenti elettrici e

pneumatici. Durante l'eventuale riscaldamento della camera da

vuoto, la temperatura sulla flangia di ingresso non deve essere

superiore a 120 °C.



PERICOLO!

Non far funzionare mai il sistema di pompaggio se la

turboflangia di ingresso non è collegata alla camera a vuoto o

non è chiusa con la flangia di chiusura.



PERICOLO!

Non toccare la turbopompa e i suoi eventuali accessori durante

le operazioni di riscaldamento. L'elevata temperatura può

causare lesioni alle persone.



PERICOLO!

Evitare urti o spostamenti della turbopompa quando è in

funzione. I cuscinetti potrebbero danneggiarsi e potrebbero

verificarsi danni alle persone o alle cose.

ATTENZIONE!

Per la mandata all'aria della pompa utilizzare gas inerte esente

da polvere, particelle o umidità (es. Azoto). La pressione di

ingresso attraverso l'apposita porta deve essere inferiore a 2

bar (oltre la pressione atmosferica).



PERICOLO!

Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas

tossici, infiammabili o radioattivi, seguire le appropriate

procedure tipiche di ciascun gas.

Non usare il sistema di pompaggio in presenza di gas esplosivi.

Accensione ed Uso del TPS-compact

Per accendere il TPS-compact è sufficiente fornire la tensione di

alimentazione e mettere in posizione ON l'interruttore esterno. Il

controller incorporato riconosce automaticamente la presenza

dell’alimentazione ed avvia la pompa.

Alla prima accensione è bene adottare la modalità "Soft Start"

attivandola sul controller, per gli avvii successivi si consiglia di

disabilitare la modalità "Soft Start". Per la procedura di attivazione

della modalità "Soft Start" far riferimento al paragrafo "Signal

Description" nel capitolo "Technical Information".

Il LED blu “STATUS” posto sul pannello posteriore della base

del TPS-compact indica, con la frequenza del suo lampeggio,

le condizioni operative del sistema:

− acceso fisso: la pompa è in rotazione normale;

− lampeggiante lentamente (periodo di circa 400 ms): il

sistema è in stato di rampa, o di frenata, o di Stop, o di

“Waiting for interlock”;

− lampeggiante velocemente (periodo di circa 200 ms):

condizione di errore.

Per una descrizione dettagliata del pannello di controllo del

TPS-compact vedere l'appendice "Technical Information".

Arresto del TPS-compact

Per arrestare il TPS-compact è sufficiente mettere in posizione

OFF l'interruttore esterno. Il controller incorporato arresta

immediatamente il sistema di pompaggio.

Arresto di Emergenza

Per arrestare in condizioni di emergenza il TPS-compact

occorre staccare il cavo di alimentazione dalla presa di rete, o

spostare l'interruttore esterno in posizione OFF.

MANUTENZIONE

Il TPS-compact non richiede alcuna manutenzione (ad

eccezione della sostituzione del Tip-seal). Qualsiasi intervento

deve essere eseguito da personale autorizzato.



PERICOLO!

Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo

dall’alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo

l'apposita valvola, attendere fino al completo arresto del rotore

ed attendere che la temperatura superficiale della pompa sia

inferiore a 50°C.

In caso di guasto è possibile usufruire del servizio di

riparazione Varian.

NOTA

Prima di rispedire al costruttore un sistema per riparazioni, è

indispensabile compilare e far pervenire al locale ufficio vendite

la scheda "Sicurezza e Salute" allegata al presente manuale di

istruzioni. Copia della stessa deve essere inserita nell'imballo

del sistema prima della spedizione.

Qualora un sistema dovesse essere rottamato, procedere alla

sua eliminazione nel rispetto delle normative nazionali

specifiche.

SMALTIMENTO

Significato del logo "WEEE" presente sulle etichette

Il simbolo qui sotto riportato applicato in ottemperanza alla

direttiva CE denominata "WEEE".

Questo simbolo (valido solo per i paesi della Comunità

Europea) indica che il prodotto sul quale è applicato, NON

deve essere smaltito insieme ai comuni rifiuti domestici o

industriali, ma deve essere avviato ad un sistema di raccolta

differenziata.

Si invita pertanto l'utente finale a contattare il fornitore del

dispositivo, sia esso la casa madre o un rivenditore, per avviare

il processo di raccolta e smaltimento, dopo opportuna verifica

dei termini e condizioni contrattuali di vendita.

GEBRAUCHSANLEITUNG

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Sicherheitshinweise

für

Turbomolekularpumpen

Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen

verfügen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen

Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie.

Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder

durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden.



GEFAHR!

Um Schäden am Gerät zu vermeiden und um Verletzungen der Bediener

vorzubeugen, befolgen Sie bitte aufmerksam die in diesem Handbuch

beschriebenen Installationshinweise!

GEBRAUCHSANLEITUNG

5/74 87-901-010-01

ALLGEMEINE INFORMATIONEN

Dieser Apparat ist für den fachmännischen Gebrauch bestimmt.

Vor dem Gebrauch hat der Benutzer dieses Handbuch sowie alle

weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau zu lesen.

Bei auch teilweiser Nichtbeachtung der enthaltenen Anweisun-

gen, unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal,

nicht autorisierten Eingriffen und Mißachtung der nationalen ein-

schlägigen Normen übernimmt die Firma Varian keinerlei Haf-

tung. Modell TPS-compact ist ein integriertes System, das aus

einer Turbomolekularpumpe für Hoch- und Höchstvakuum-

anwendungen, integriert mit einem entsprechenden Controller

und der Primärpumpe, besteht. Das System eignet sich für die

Förderung aller Arten von Gasen oder gashaltigen Gemischen,

nicht jedoch für die Förderung von Flüssigstoffen oder Festparti-

keln. Die Pumpwirkung wird durch eine hochtourige Turbine er-

reicht, die von einem Hochleistungs-drehstrommotor angetrieben

wird. Modell TPS-compact enthält keinerlei umweltschädliche

Substanzen und eignet sich deshalb auch für Anwendungen, die

ein "sauberes" Vakuum erfordern. Modell TPS-compact verfügt

des weiteren über Zusatzanschlüsse, über die das Entlüftungs-

ventil gesteuert oder die Vorrichtung von einem Host Computer

über eine serielle Leitung gesteuert werden kann. In den folgen-

den Abschnitten sind alle erforderlichen Informationen für die Si-

cherheit des Bedieners bei der Anwendung des Geräts aufge-

führt. Detaillierte technische Informationen sind im Anhang

"Technical Information" enthalten.

In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise

folgendermaßen hervorgehoben:



GEFAHR!

Die Gefahrenhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedie-

ners auf einen Vorgang oder eine bestimmte Ausführungswei-

se, die bei unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen her-

vorrufen könnten.

ACHTUNG!

Die Warnhinweise werden vor Vorgängen angegeben, die bei

Nichtbeachtung Schäden an der Anlage verursachen könnten.

HINWEIS

Die Hinweise enthalten wichtige Informationen, die aus dem

Text hervorgehoben werden.

LAGERUNG

Zur Garantie der höchsten Funktionstüchtigkeit und Zuverläs-

sigkeit der Varian – Pumpsysteme müssen die folgenden Vor-

schriften eingehalten werden:

• Während des Transports, der Handhabung und der Einla-

gerung der Pumpen dürfen die folgenden Grenzwerte nicht

überschritten werden:

• Temperatur: von –20 °C bis +70 °C

• Relative Feuchtigkeit: von 0 bis 95% (nicht kondensie-

rend)

• Der Kunde hat die Turbomolekularpumpen nach dem Emp-

fang bei Erstinbetriebnahme stets im Modus Soft-Start in-

gangzusetzen.

• Die Lagerdauer für eine Turbomolekularpumpe beträgt 10

Monate ab dem Speditionsdatum.

ACHTUNG!

Falls die Lagerdauer aus verschiedentlichen Gründen die ge-

nannte Frist überschreiten sollte, ist das Pumpensystem an das

Werk zurückzusenden. Für Informationen wenden Sie sich bitte

an den örtlichen Varian Vertreter.

VOR DER INSTALLATION

Modell TPS-compact wird in einer speziellen Schutzverpackung

geliefert. Eventuelle Transportschäden sind der zuständigen

örtlichen Verkaufsstelle zu melden.

Modell TPS-compact ist vorsichtig auszupacken, wobei es vor dem

Herunterfallen und vor Stößen und Vibrationen zu schützen ist.

Das Verpackungsmaterial ist vorschriftsgemäß zu entsorgen.

Es ist vollständig recyclebar und entspricht der Richtlinie

85/399/EWG für Umweltschutz.

ACHTUNG!

Um Entgasungen zu vermeiden, dürfen die Teile, die mit dem

Vakuum in Berührung kommen, nicht mit den bloßen Händen

angefaßt werden. Es sind stets Schutzhandschuhe oder andere

Schutzmittel zu verwenden.

HINWEIS

Modell TPS-compact kann durch die Umgebung an sich keine

Schäden erleiden. Es sollte jedoch bis zur Installation an der

Anlage geschlossen bleiben, um Verunreinigungen durch

Staub zu vermeiden.

INSTALLATION

ACHTUNG!

Das Klebeband abziehen und den Schutzdeckel erst bei

Anschluß der Turbopumpe an das System abnehmen.

Das Pumpensystem darf nicht in Umgebungen, die unge-

schützt vor Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und aggres-

siven Gasen sind, sowie auch nicht in explosionsfähigen oder

erhöht brandgefährdeten Umgebungen installiert und/oder be-

nutzt werden.

Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen ein-

gehalten werden:

- Maximaler Druck: 2 bar über dem atmosphärischen Druck

- Temperatur: von +5°C bis +35°C

- Relative Luftfeuchtigkeit: 0 - 95% (nicht kondensierend).

Bei Vorhandensein von elektromagnetischen Feldern ist das

Pumpensystemdie Pumpe entsprechend abzuschirmen.

Modell TPS-compact kann in jeder beliebigen Position installiert

werden. Modell TPS-compact ist stabil zu befestigen, indem

der Flansch am Eingang der Turbopumpe an einen festen Ge-

genflansch angeschlossen wird, der mit einem Drehmoment

von 50 Nm um seine eigene Achse belastbar ist.

Turbopumpen mit einem ISO-Eingangsflansch sind mittels

doppelter oder einfacher Klemmschellen an die Vakuumkam-

GEBRAUCHSANLEITUNG

6/74 87-901-010-01

mer anzuschließen. In der nachstehenden Tabelle sind die An-

zahl der Klemmschellen und das Anzugsmoment für die Schel-

lenarten angegeben.

FLANSCH KLEMMSCHELLE ANZ. ANZUGSMOMENT

ISO 63

Doppelschelle mit

Gewinde M10

4 22 Nm

ISO 100 K

Doppelschelle mit

Gewinde M10

4 22 Nm

ISO 160 K

Doppelschelle mit

Gewinde M10

4 22 Nm

Turbopumpen mit ConFlat-Eingangsflansch sind mit dem spe-

ziellen Varian-Befestigungsmaterial an die Vakuum kammer

anzuschließen. Für ausführliche Informationen siehe im An-

hang "Technical Information".

HINWEIS

Modell TPS-compact kann nicht mittels seines Sockels befes-

tigt werden.

Für die Installation der Optionsteile siehe im Anhang "Technical

Information".

GEBRAUCH

In diesem Abschnitt werden die wichtigsten Betriebsvorgänge

erläutert. Vor Benutzung des Systems sind alle elektrischen

und pneumatischen Anschlüsse auszuführen. Während der

eventuellen Aufheizung der Vakuumkammer darf die Tempera-

tur am Eingangsflansch 120°C nicht überschreiten.



GEFAHR!

Das Pumpensystem darf nicht in Betrieb genommen werden,

wenn der Eingangsflansch nicht an die Vakuumkammer ange-

schlossen oder nicht mit dem Verschlußflansch verschlossen

ist.



GEFAHR!

Während des Aufheizens dürfen weder die Pumpe noch even-

tuelle heiße Zubehörteile berührt werden. Es besteht Verbren-

nungsgefahr.



GEFAHR!

Die Turbopumpe darf während des Betriebes keinen Stößen

oder ruckartigen Bewegungen ausgesetzt werden. Die Lager

könnten beschädigt werden und Personen oder Gegenständen

Schaden zugefügt werden.

ACHTUNG!

Für die Belüftung der Pumpe staub-, partikel- und feuchtigkeits-

freies Inertgas (z.B. Stickstoff) verwenden. Der Eingangsdruck

am Belüftungsanschluß soll unter 2 bar (über dem atmosphäri-

schen Druck) betragen.



GEFAHR!

Wenn das Pumpensystem zur Förderung von giftigen, leicht

entflammbaren oder radioaktiven Gasen benutzt wird, sind die

für das jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorgänge und Maß-

nahmen zu befolgen.

Das Pumpensystem darf niemals bei Vorhandensein von exp-

losionsfähigen Gasen verwendet werden.

Einschaltung und Gebrauch von Modell TPS-

compact

Zur Einschaltung des TPS-compact ist der Netzstecker anzu-

schließen und der externe Schalter auf die Schaltstellung ON zu

stellen. Der eingebaute Controller erfaßt automatisch das An-

liegen der Spannung und startet die Pumpe.

Bei der Erstinbetriebnahme sollte die Betriebsart "Soft Start"

über den Controller eingestellt werden, bei darauffolgenden

Ingangsetzungen wird empfohlen, die Betriebsart "Soft Start"

zu deaktivieren. Um den Modus "Soft Start" einzustellen, bitte

den Absatz "Signal Description", im Kapitel "Technical Informa-

tion", nachschlagen.

Die blauen LEDs “STATUS” an der Bodenplatte von Modell

TPS-compact gibt mit der Häufigkeit ihres Blinkens die Be-

triebsbedingungen des System an:

- Daueranzeige: Die Pumpe befindet sich im normalen Be-

trieb.

- Langsame Blinkanzeige (ca. 400 ms): das System befindet

sich entweder im Status Rampe, Abbremsung, Stopp oder

“Waiting for Interlock”.

- Schnelle Blinkanzeige (ca. 200 ms): Fehlerstatus.

Für eine detaillierte Erläuterung der Bedienblende des TPS-

compact siehe im Anhang "Technical Information".

Stoppen von Modell TPS-compact

Zur Stillsetzung des TPS-compact ist der externe Schalter auf

die Schaltstellung OFF zu schalten. Der eingebaute Controller

sorgt für den sofortigen Stopp des Pumpensystems.

Not-Aus

Zur Notstillsetzung des TPS-compact ist der Netzstecker zu

ziehen oder der externe Schalter auf die Schaltstellung OFF zu

schalten.

WARTUNG

Das Modell TPS-compact erfordert keine Wartung (außer der

Austausch des Tip-seal). Eventuelle Eingriffe dürfen nur durch

autorisiertes Fachpersonal ausgeführt werden.



GEFAHR!

Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die

Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und

abwarten, bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Tempera-

tur am Pumpengehäuse unter 50°C abgesunken ist.

Bei Defekten kann der Varian Service.

HINWEIS

Bevor Fa. Varian ein System zur Reparatur, das diesem Hand-

buch beiliegt, ausgefüllt an die örtliche Verkaufsstelle zu sen-

den. Eine Kopie ist der Verpackung des Systems vor dem Ver-

sand beizulegen.

Eine eventuelle Verschrottung hat unter Beachtung der ein-

schlägigen nationalen Vorschriften zu erfolgen.

GEBRAUCHSANLEITUNG

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ENTSORGUNG

Bedeutung des "WEEE" Logos auf den Etiketten

Das folgende Symbol ist in Übereinstimmung mit der EU-

Richtlinie WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment)

angebracht.

Dieses Symbol (nur in den EU-Ländern gültig) zeigt an, dass

das betreffende Produkt nicht zusammen mit Haushaltsmüll

entsorgt werden darf sondern einem speziellen Sammelsystem

zugeführt werden muss.

Der Endabnehmer sollte daher den Lieferanten des Geräts -

d.h. die Muttergesellschaft oder den Wiederverkäufer - kontak-

tieren, um den Entsorgungsprozess zu starten, nachdem er die

Verkaufsbedingungen geprüft hat.

MODE D’EMPLOI

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Normes de sécurité

pour

Pompe Turbomoléculaires

Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une

énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique

de leurs rotors.

En cas de panne du système, par exemple à cause d'un contact entre rotor et stator ou

d'une rupture du rotor, l'énergie de rotation pourrait être libérée.



DANGER!

Pour éviter tout dégât aux appareillages et empêcher toute blessure aux

opérateurs, il faut suivre attentivement les instructions d'installation

décrites dans ce manuel!

MODE D’EMPLOI

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INDICATIONS GÉNÉRALES

Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation

professionnelle. Avant toute utilisation de l'appareil, il est

conseillé à l'utilisateur de lire attentivement cette notice

d'instructions ainsi que toute autre indication supplémentaire

fournie par Varian qui décline par conséquent toute

responsabilité en cas de non-respect total ou partiel des

instructions données, d'utilisation impropre par un personnel

non formé, d'opérations non autorisées ou d'emploi contraire

aux réglementations nationales spécifiques. Le TPS-compact

est un système intégré, constitué d'une pompe

turbomoléculaire conçue pour des applications de vide poussé

et ultrapoussé et dotée d'un contrôleur et d'une pompe

primaire. Le système est à même de pomper tous les types de

gaz et de composés gazeux mais il n'est pas adapté au

pompage de liquides ou de particules solides. L'effet de

pompage est obtenu grâce à une turbine tournant à vitesse

élevée, mue par un moteur électrique triphasé à haut

rendement. Le TPS-compact est totalement exempt d'agents

polluants et il est par conséquent indiqué pour toutes les

applications exigeant un vide "propre". Le TPS-compact est en

outre doté de connecteurs auxiliaires permettant de

commander la soupape de ventilation, de le piloter à distance à

l'aide d'un ordinateur host connecté par ligne sérielle. Les

paragraphes suivants fournissent toutes les indications

nécessaires à garantir la sécurité de l'opérateur pendant

l'utilisation de l'appareillage. Des renseignements plus détaillés

se trouvent dans l'appendice "Technical Information".

Cette notice utilise les signes conventionnels suivants:



DANGER!

Les messages de danger attirent l'attention de l'opérateur sur

une procédure ou une manœuvre spéciale qui, effectuée de

façon impropre, risque de provoquer de graves lésions

 ATTENTION!

Les messages d'attention apparaissent avant certaines

procédures dont le non-respect pourrait endommager

sérieusement l'appareillage.

NOTE

Les notes contiennent des renseignements importants,

extrapolés du texte.

STOCKAGE

Pour garantir les performances et la fiabilité maximales des

systèmes de pompage Varian, il est indispensable de respecter

les instructions suivantes:

• Le transport, la manutention et le stockage des pompes,

doivent impérativement avoir lieu dans les conditions

ambiantes suivantes:

• température: de –20 °C à +70 °C

• humidité relative: de 0 à 95% (non condensante)

• A la première utilisation, les pompes turbomoléculaires

doivent toujours être mises en marche en mode soft-Start

• Le temps de stockage d'une pompe turbomoléculaire est

de 10 mois à compter de la date d'expédition.

 ATTENTION!

En cas de dépassement du temps de stockage, le système de

pompage doit être retournée en usine. Pour tout

renseignement, contacter le représentant Varian de zone.

PRÉPARATION POUR L'INSTALLATION

Le TPS-compact est livré dans un emballage de protection spécial;

en cas d'endommagement de l'emballage pouvant s'être produit

pendant le transport, contacter le bureau de vente local.

Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout

particulièrement à ne pas laisser tomber le TPS-compact et à

ne lui faire subir aucun choc et aucune vibration.

Ne pas abandonner l'emballage dans la nature. Le matériel est

entièrement recyclable et conforme à la directive CEE 85/399

en matière de protection de l'environnement.

 ATTENTION!

Afin d'éviter tout problème de dégazage, ne pas toucher, à

mains nues, les éléments devant être exposés au vide. Mettre

toujours des gants ou toute autre protection appropriée.

NOTE

Le TPS-compact ne peut s'endommager en restant simplement

exposé à l'atmosphère. Toutefois, afin d'éviter toute pollution

due à la poussière, il est conseillé de le garder dans son

emballage clos jusqu'au moment de l'installation.

INSTALLATION

 ATTENTION!

Ne décoller l'adhésif et ne retirer le couvercle de protection

qu'au moment de brancher la turbopompe au système.

Ne pas installer et/ou utiliser le système de pompage dans des

milieux exposés aux agents atmosphériques (pluie, gel, neige),

à la poussière, aux gaz agressifs ainsi que dans des milieux

explosifs ou à fort risque d'incendie.

Pendant le fonctionnement, il est nécessaire de respecter les

conditions environnementales suivantes:

- pression max.: 2 bars au-delà de la pression

atmosphérique

- température: de +5°C° à +35°C

- humidité relative: 0 - 95% (non condensante)

En présence de champs magnétiques, le système de pompage

doit être protégée à l'aide d'écrans appropriés.

Le TPS-compact peut être installée dans n'importe quelle

position. Le fixer dans une position stable, en reliant la bride

d'entrée de la turbopompe à une contre-bride fixe pouvant

supporter un couple de serrage de 50 Nm autour de son axe.

La turbopompe à bride d'entrée ISO doit être fixée à la

chambre à vide à l'aide de colliers doubles ou simples. Le

tableau suivant décrit, pour chaque type de collier, le nombre

de colliers nécessaires ainsi que le couple de serrage prescrit.

MODE D’EMPLOI

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BRIDE TYPE DE COLLIER N.

COUPLE DE

SERRAGE

ISO 63 Collier double à filet M10 4 22 Nm

ISO 100 K Collier double à filet M10 4 22 Nm

ISO 160 K Collier double à filet M10 4 22 Nm

La turbopompe à bride d'entrée ConFlat doit être fixée à la

chambre à vide à l'aide des éléments mécaniques Varian

prévus à cet effet. Pour tout autre détail, se reporter à

l'appendice "Technical Information".

NOTE

Le TPS-compact ne peut être fixé par sa base.

Pour l'installation des accessoires en option, se reporter à

"Technical Information".

UTILISATION

Ce paragraphe présente les principales procédures

opérationnelles.

Avant d'utiliser le système, effectuer tous les branchements

électriques et pneumatiques. Pendant le chauffage éventuel de

la chambre à vide, la température de la bride d'entrée ne doit

pas dépasser 120°C.



DANGER!

Ne jamais faire fonctionner le système de pompage si la bride

d'entrée n'est pas reliée à la chambre à vide ou si elle n'est pas

fermée avec la bride de fermeture.



DANGER!

Éviter de toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires

éventuels pendant les opérations de chauffage. La température

élevée peut être à l'origine de lésions graves.



DANGER!

Éviter tout choc ou déplacement de la turbopompe lorsqu'elle

est en marche. Cela pourrait endommager les paliers et

provoquer de graves dommages aux personnes et aux choses.

 ATTENTION!

Pour le "refoulement à l'air" de la pompe, utiliser un gaz inerte

dépourvu de poussière, particules ou humidité (Ex. azote). La

pression d'entrée à travers la porte prévue à cet effet doit être

inférieure à 2 bars (au-delà de la pression atmosphérique).



DANGER!

Lorsque la pompe est utilisée pour le pompage de gaz

toxiques, inflammables ou radioactifs, suivre les procédures

typiques de chaque gaz.

Ne pas utiliser le système de pompage en présence de gaz

explosifs.

Mise en marche et utilisation du TPS-compact

Pour allumer le TPS-compact, il suffit de le brancher au réseau

et de placer l'interrupteur extérieur sur ON. Le contrôleur

incorporé reconnaît automatiquement la présence de

l'alimentation et met la pompe en marche.

Lors de la première mise en marche, il est conseillé d'adopter

le mode "Soft Start" en l'activant sur le contrôleur; pour les

démarrages suivants, il est conseillé de désactiver le mode

"Soft Start". Pour la procédure d’activation de la modalité "Soft

Start", se référer au paragraphe "SIGNAL DESCRIPTION"

dans le chapitre "Technical Information".

La LED bleu "STATUS" placée sur le panneau arrière de la

base du TPS-compact indique, par sa fréquence de

clignotement, les conditions opérationnelles du système:

- allumée fixe: la pompe est en rotation normale;

- clignote lentement (période d'environ 400 ms): le système

est en état de rampe, de freinage, de stop ou d’attente

interlock.

- clignote rapidement (période d'environ 200 ms): condition

d'erreur.

Pour une description détaillée du panneau de contrôle du TPS-

compact, consulter l'appendice "Technical Information".

Arrêt du TPS-compact

Pour arrêter le TPS-compact, il suffit de placer l'interrupteur

extérieur sur OFF. Le contrôleur incorporé arrête

immédiatement le système de pompage.

Arrêt d'urgence

Pour arrêter le TPS-compact en condition d'urgence,

débrancher le cordon d'alimentation de la prise ou placer

l'interrupteur extérieur sur OFF.

ENTRETIEN

Le TPS-compact n'exige aucun entretien particulier (à

l’exception du remplacement du Tip-seal). Toute intervention

doit être effectuée par un personnel agréé.



DANGER!

Avant toute intervention sur le système, le débrancher, refouler

l'air de la pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet,

attendre jusqu'à l'arrêt complet du rotor et jusqu'à ce que la

température superficielle de la pompe soit inférieure à 50°C.

En cas de panne, il est possible de bénéficier du service

réparations Varian.

NOTE

Avant de renvoyer une pompe au constructeur pour réparation,

remplir et faire parvenir au bureau Varian de votre région la

fiche "Sécurité et Santé" jointe au présent manuel

d'instructions. Une copie de cette fiche devra être mise dans

l'emballage de la pompe avant l'expédition.

En cas de mise au rebut de la pompe, procéder à son

élimination conformément aux réglementations nationales

concernant la gestion des déchets.

MISE AU REBUT

Signification du logo "WEEE" figurant sur les étiquettes

Le symbole ci-dessous est appliqué conformément à la

directive CE nommée "WEEE".

Ce symbole (uniquement valide pour les pays de la

Communauté européenne) indique que le produit sur lequel il

est appliqué NE doit PAS être mis au rebut avec les ordures

ménagères ou les déchets industriels ordinaires, mais passer

par un système de collecte sélective.

Après avoir vérifié les termes et conditions du contrat de vente,

l’utilisateur final est donc prié de contacter le fournisseur du

dispositif, maison mère ou revendeur, pour mettre en œuvre le

processus de collecte et mise au rebut.

INSTRUCCIONES DE USO

11/74 87-901-010-01

Indicaciones de Seguridad

para

Bombas Turbomoleculares

Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen

una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en

combinación a la masa específica de sus rotores.

En el caso de un daño del sistema, por ejemplo por un contacto entre el rotor y el estator o

por una rotura del rotor, la energía de rotación podría ser liberada.



¡PELIGRO!

Para evitar daños a los equipos y prevenir lesiones a los operadores, es

necesario seguir atentamente las instrucciones de instalación descritas

en el presente manual!

INSTRUCCIONES DE USO

12/74 87-901-010-01

INFORMACIÓN GENERAL

Este equipo es para uso profesional. El usuario ha de leer

atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier

otra información suplementaria facilitada por Varian antes de

usar el aparato. Varian se considera libre de posibles

responsabilidades debidas al incumplimiento total o parcial de

las instrucciones, al uso impropio por parte de personal no

preparado, a operaciones no autorizadas o a un uso contrario a

las normas nacionales específicas.

El TPS-compact es un sistema integrado compuesto por una

bomba turbomolecular para aplicaciones de alto y ultra alto

vacío integrada por el respectivo controlador y la bomba

primaria. El sistema puede bombear cualquier tipo de gas o de

composición gaseosa, pero no es adecuado para bombear

líquidos o partículas sólidas. El efecto de bombeo se obtiene

mediante una turbina rotativa de alta velocidad movida por un

motor eléctrico trifásico de alto rendimiento. El TPS-compact no

posee absolutamente ningún agente contaminante, por lo que

es adecuado para aplicaciones que requieren un vacío’

“limpio”. Asimismo, el TPS-compact posee conectores

auxiliares con los que se puede gobernar la válvula de

ventilación y pilotearlo a distancia mediante un ordenador host

conectado a través de línea serial.

A continuación se facilita toda la información necesaria para

garantizar la seguridad del operador al usar el aparato. En el

anexo “Technical Information” se facilita información más

detallada.

Este manual utiliza las convenciones siguientes:



¡PELIGRO!

Los mensajes de peligro atraen la atención del operador sobre

un procedimiento o una ejecución específica que, de no

realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones

personales.

 ¡ATENCIÓN!

Los mensajes de atención se visualizan antes de los procedimientos

que, de no cumplirse, podrían provocar daños al aparato.

NOTA

Las notas contienen información importante extraída del texto.

ALMACENAMIENTO

Para garantizar el nivel máximo de funcionalidad y fiabilidad de

los sistemas de bombeo Varian, deberán aplicarse las

siguientes instrucciones:

• durante el transporte, desplazamiento y almacenamiento

de las bombas no deberán superarse las siguientes

condiciones ambientales:

• temperatura: entre –20 °C y +70 °C;

• humedad relativa: entre 0 y 95 % (no condensante);

• el cliente deberá activar siempre las bombas

turbomoleculares en modalidad Soft-Start al recibirlas y

ponerlas en funcionamiento por primera vez;

• el período máximo de almacenamiento de una bomba

turbomolecular es de diez meses a contar de la fecha de

envío al cliente.

 ¡ATENCIÓN!

En caso de superarse por cualquier motivo el período máximo

permitido de almacenamiento, será necesario devolver el

sistema de bombeo al fabricante. Para mayores informaciones

al respecto, se ruega contactar con el representante local de

Varian.

PREPARACIÓN PARA LA INSTALACIÓN

El TPS-compact se suministra en un embalaje especial de

protección; si se observan daños, que podrían haberse

producido durante el transporte, ponerse en contacto con la

oficina local de ventas.

Durante la operación de desembalaje, tener cuidado de que no se

caiga el TPS-compact y de no someterlo a golpes o vibraciones.

No abandonar el embalaje en el medio ambiente. El material es

completamente reciclable y cumple con lo dispuesto por la

directiva CEE 85/399 para la preservación del medio ambiente.

 ¡ATENCIÓN!

Para evitar problemas de desgasificación, no tocar con las

manos desnudas los componentes destinados a exponerse al

vacío. Utilizar siempre guantes u otra protección adecuada.

NOTA

El TPS-compact no puede dañarse permaneciendo

simplemente expuesto a la atmósfera. De todas formas, se

aconseja mantener cerrada la bomba hasta el momento de la

instalación en el sistema para evitar su posible contaminación

por polvo.

INSTALACIÓN

 ¡ATENCIÓN!

Despegar el adhesivo y quitar el tapón de protección sólo en el

momento de conectar la turbobomba al sistema.

No instalar ni/o utilizar el sistema de bombeo en lugares expuestos

a agentes atmosféricos (lluvia, hielo y nieve), polvo y gases

agresivos, ni en ambientes sujetos a riesgo de explosión o

incendio.

Durante el funcionamiento es necesario que se respeten las

condiciones ambientales siguientes:

- presión máxima: 2 bares por encima de la presión

atmosférica

- temperatura: de +5ºC a +35ºC

- humedad relativa: 0-95% (no condensadora).

Cuando existan campos electromagnéticos, el sistema de

bombeo ha de protegerse mediante pantallas adecuadas.

El TPS-compact puede ser instalado en cualquier posición.

Fijar el TPS-compact en posición estable conectando la brida

de entrada de la turbobomba a una contrabrida fija capaz de

resistir ha un par de 50 Nm en torno a su propio eje.

La turbobomba con brida de entrada ISO ha de fijarse a la cámara

de vacío mediante mordazas dobles o mordazas sencillas. La

INSTRUCCIONES DE USO

13/74 87-901-010-01

tabla siguiente describe, por cada tipo de mordaza, el número de

mordazas necesarias y con qué par de apriete apretarlas.

BRIDA

TIPO DE MORDAZA

N.

PAR DE APRIETE

ISO 63

Mordaza doble con

rosca M10

4 22 Nm

ISO 100 K

Mordaza doble con

rosca M10

4 22 Nm

ISO 160 K

Mordaza doble con

rosca M10

4 22 Nm

La turbobomba con brida de entrada ConFlat ha de fijarse a la

cámara de vacío mediante los accesorios mecánicos

específicos Varian. Para más detalles véase el anexo

“Technical Information”.

NOTA

El TPS-compact no puede fijarse utilizando su base.

Para instalar los accesorios opcionales, véase “Technical

Information”.

USO

En este apartado se citan los procedimientos operativos

principales. Antes de usar el sistema realizar todas las

conexiones eléctricas y neumáticas. Durante el posible

calentamiento de la cámara de vacío, la temperatura de la

brida de entrada no ha de ser superior a 120ºC.



¡PELIGRO!

No hacer funcionar nunca el sistema de bombeo si la brida de

entrada no está conectada a la cámara de vacío o no está

cerrada con la brida de cierre.



¡PELIGRO!

No tocar la turbobomba y sus posibles accesorios durante las

operaciones de calentamiento. La alta temperatura puede

provocar lesiones a las personas.



¡PELIGRO!

Evitar los golpes o bruscos desplazamientos de la turbobomba

cuando está en marcha. Los rodamientos se podrían dañar y

se podrían verificar daños a las personas o a las cosas.

 ¡ATENCIÓN!

Para el "envío al aire" de la bomba utilizar gas inerte exento de

polvo, partículas y humedad (por ej.: nitrógeno). La presión de

entrada a través de la respectiva puerta debe ser inferior a 2

bares (por encima de la presión atmosférica).



¡PELIGRO!

Cuando la bomba se utiliza para bombear gases tóxicos,

inflamables o radioactivos, seguir los procedimientos

apropiados típicos de cada gas. No usar el sistema de bombeo

cuando haya gases explosivos.

Encendido y Uso del TPS-compact

Para encender el TPS-compact basta conectar la tensión de

alimentación y disponer el interruptor externo en posición ON.

El controlador incorporado reconoce automáticamente la

presencia de la alimentación y pone en marcha la bomba.

Al efectuar el primer encendido conviene adoptar la modalidad

"Soft Start" activándola en el controller, mientras que para las

sucesivas activaciones se aconseja inhabilitar dicha modalidad

"Soft Start". Para el procedimiento de activación de la

modalidad “Soft Start” consultar el punto “Signal Description”

del capítulo “Technical Information”.

El LED azul “STATUS” situado en el panel trasero de la base

del TPS-compact indica, con la frecuencia de su parpadeo, las

condiciones operativas del sistema:

− encendido fijo: la bomba está en rotación normal;

− parpadea lentamente (período de 400 ms

aproximadamente): el sistema está en estado de rampa, o

de frenado, o de stop, o de “waiting for iterlock” ;

− parpadea rápidamente (período de 200 ms

aproximadamente): situación de error.

Una descripción detallada del panel de control del TPS-

compact aparece en el apéndice "Technical Information".

Parada del TPS-compact

Para detener el TPS-compact basta disponer el interruptor

externo en posición OFF. El controlador incorporado detiene

inmediatamente el sistema de bombeo.

Parada de Emergencia

Para interrumpir inmediatamente en caso de emergencia el

funcionamiento del TPS-compact, se deberá desenchufar el

cable de alimentación de la toma de red o disponer el

interruptor externo en posición OFF.

MANTENIMIENTO

El TPS-compact no necesita ningún mantenimiento (a

excepción de la sustitución del Tip-seal). Toda intervención

deberá ser realizada por personal autorizado.



¡PELIGRO!

Antes de realizar cualquier operación en el sistema,

desconectarlo de la alimentación, disponer la bomba en

presión atmosférica abriendo la válvula respectiva y esperar

hasta que el rotor se pare completamente y que la temperatura

superficial de la bomba se reduzca a menos de 50ºC.

En caso de avería se podrá utilizar el servicio de reparación

Varian.

NOTA

Antes de enviar al fabricante un sistema para su reparación, es

imprescindible cumplimentar y remitir a la oficina local de

ventas la ficha de “Seguridad y Salud” adjunta al presente

manual de instrucciones. Una copia de la misma se deberá

introducir en el embalaje del sistema antes de enviarlo.

En caso de que el sistema se tenga que desguazar, eliminarlo

respetando las normas nacionales específicas.

INSTRUCCIONES DE USO

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ELIMINACIÓN

Significado del logotipo "WEEE" presente en las etiquetas.

El símbolo que se indica a continuación, es aplicado en

observancia de la directiva CE denominada "WEEE".

Este símbolo (válido sólo para los países miembros de la

Comunidad Europea) indica que el producto sobre el cual ha

sido aplicado, NO debe ser eliminado junto con los residuos

comunes sean éstos domésticos o industriales, y que, por el

contrario, deberá ser sometido a un procedimiento de recogida

diferenciada.

Por lo tanto, se invita al usuario final, a ponerse en contacto

con el proveedor del dispositivo, tanto si éste es la casa

fabricante o un distribuidor, para poder proveer a la recogida y

eliminación del producto, después de haber efectuado una

verificación de los términos y condiciones contractuales de

venta.

INSTRUÇÕES PARA O USO

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Indicações de Segurança

para

Bombas Turbomoleculares

As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta

quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa

específica de seus rotores.

Em caso de avaria do sistema, causada por exemplo por um contacto entre o rotor e o

estator ou uma ruptura do rotor, a energia de rotação pode ser liberada.



PERIGO!

Para evitar danos à aparelhagem e prevenir lesões aos operadores, é

necessário seguir atentamente as instruções de instalação descritas

neste manual!

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Varian TPS-compac 969-8232 Instrukcja obsługi

Varian TPS-compac 969-8232 Instrukcja obsługi

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