Converters.TV 702 Instrukcja obsługi

Strona jest ładowana ...

Contents

10/270 TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A)

A szivattyú rögzítése 141

Használat 143

Karbantartás 145

Megsemmisítés 146

12 Podrecznik Instrukcji 147

Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dl

a Pomp

Turbomolekularnych 148

Ogólne informacje 149

Magazynowanie 150

Przygotowanie do instalacji 151

Instalacja 152

Mocowanie pompy 153

Użytkowa

nie 155

Konserwacja 157

Przetworstwo odpadow 158

13 Návod k Použití 159

Bezpečnos

tní návod pro Turbomolekulární vývěvy 160

Všeobecné informace 161

Uskladnění 162

Přípr

ava k instalaci 163

Instalace 164

Montáž vývěvy 165

Použití 167

Strona jest ładowana ...

TV 702 SEM User Manual

147/270

12

Podrecznik Instrukcji

Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp

Turbomolekularnych 148

Ogólne informacje 149

Magazynowanie 150

Przygotowanie do instalacji 151

Instalacja 152

Mocowanie pompy 153

Użytkow

anie 155

Włączeni

e i Użytkowanie systemu TV 702 SEM 156

Zatrzymanie systemu TV 702 SEM 156

Zatrzymanie Alarmowe 157

Konserwacja 157

Przetworstwo odpadow 158

Tłumac

zenie instrukcji oryginalnej

12

Podrecznik Instrukcji

Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych

148/270 TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A)

Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp

Turbomolekularnych

Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsługi

posiadają wysoką energię kinetyczną spowodowaną bardzo wysoką

prędkością obrotów razem z masą właściwą wirników.

W przypadku uszkodzenia systemu, na przykład z powodu kontaktu

między wirnikiem a stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika,

energia obrotowa może być zwolniona.

ZAGROŻENIE!

Aby uniknąć uszkodzenia aparatury i zapobiec uszkodzeniom ciała

operatorów, należy obowiązkowo przestrzegać zalecenia dotyczące

instalacji opisane w niniejszej instrukcji obsługi!

Podrecznik Instrukcji

Ogólne informacje

12

TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A) 149/270

Ogólne informacje

Ta aparatura jest przeznaczona do użytku zawodowego. Użytkownik

musi przeczytać bardzo uważnie niniejszą instrukcję każdą

dodatkową informację dostarczoną przez firmę Agilent przed

użytkowaniem aparatury. Firma Agilent uchyla się od jakiejkolwiek

odpowiedzialności w przypadku częściowego lub całkowitego braku

przestrzegania instrukcji, w przypadku niewłaściwego użytkowania

przez nieprzeszkolony personel, w przypadku nieupoważnionych

interwencji jak i w przypadku braku zastosowania odpowiednich

norm krajowych.

Pompy z serii TV 702 SEM są to pompy turbomolekularne stosowane

do zastosowań wysokich i ultra wysokich próżni. System jest w stanie

pompować jakikolwiek typ gazu lub mieszanki gazowej, ale nie jest

przystosowany do pompowania płynów lub stałych cząstek.

Zjawisko pompowania jest uzyskane poprzez obrotową turbinę o

wysokiej prędkości (max. 42000 obr./min) napędzaną przez

elektryczny silnik trójfazowy o wysokiej wydajności. System TV 702

SEM jest całkowicie bez czynników zanieczyszczających, i dlatego też

jest to system odpowiedni do zastosowań gdzie jest wymagana

tzw.”czysta” próżnia.

Poza tym posiada konektory pomocnicze poprzez które istnieje

możliwość

zasilania dodatkowego wentylatora, sterowania zaworem

wentylatora, zdalnego pilotowania go poprzez główny komputer host

podłączonego z szeregowym portem (RS232 lub RS485).

W następnych paragrafach zostały przedstawione wszystkie

potrzebne informacje w celu zagwarantowania bezpieczeństwa

operatora podczas użytkowania aparatury. Szczegółowe informacje

zostały przedstawione w dodatku dotyczącym informacji

technicznych „Technical Information”.

12

Podrecznik Instrukcji

Magazynowanie

150/270 TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A)

W tej instrukcji zastosowano następujące umowne znaczenia :

ZAGROŻENIE!

Komunikaty niebezpieczeństwa przyciągają uwagę operatora co do danej

procedury lub danego postępowania którego nieprawidłowe wykonanie

mogłoby spowodować poważne uszkodzenia ciała.

UWAGA!

Komunikaty zwiększonej uwagi są wyświetlane przed procedurami i w

przypadku ich braku przestrzegania, może dojść do uszkodzenia aparatury.

PRZYPIS

Są to ważne informacje wyciągnięte z tekstu.

Magazynowanie

W celu zagwarantowania najwyższego poziomu funkcjonalnego i

niezawodności pomp turbomolekularnych Agilent , muszą być

przestrzegane następujące zalecenia:

 podczas transportu, przesunięcia i magazynowania pomp, nie

mogą być przekroczone następujące warunki środowiskowe:

 temperatura: od -20 °C do 70 °C

 względna wilgoć od 0 do 95 % ( bez opar)

 klient po otrzymaniu i przygotowaniu po raz pierwszy pomp

turbomolekularnych, musi je zawsze uruchomić w sposób Soft-

Start

 czas magazynowania danej pompy turbomolekularnej wynosi 10

miesięcy od daty wysyłki.

Podrecznik Instrukcji

Przygotowanie do instalacji

12

TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A) 151/270

UWAGA!

Jeżeli z jakiegokolwiek powodu, czas magazynowania jest dłuższy, należy

odesłać pompę do fabryki. W celu jakiejkolwiek informacji, prosimy

skontaktować się z miejscowym przedstawicielem firmy Agilent.

Przygotowanie do instalacji

Pompa TV 702 SEM jest dostarczana w specjanym ochronnym

opakowaniu; w przypadku śladów uszkodzeń do których mogłoby

dojść podczas transportu, należy skontaktować się z miejscowym

biurem sprzedaży. Podczas operacji rozpakowywania, należy zwrócić

szczególną uwagę aby nie spowodować upadku systemu TV 702 SEM

ani nie poddawać go uderzeniom lub wibracjom. Nie porzucać

opakowania w środowisku. Materiał ten nadaje się całkowicie do

recyklingu zgodny jest z dyrektywą UE 855/399 dotyczącej ochrony

środowiska.

UWAGA!

Aby uniknąć problemów odgazowywania, należy nie dotykać gołymi rękoma

części przeznaczonych do próżni. Należy zawsze stosować odpowiednie

rękawice ochronne lub odpowiednie zabezpieczenie.

PRZYPIS

Pompa TV 702 SEM, nie powinna zostać uszkodzona poprzez wystawienie jej na

działanie atmosfery. Mimo to zaleca się aby pompa do momentu jej instalacji na

systemie, pozostała zamknięta w celu uniknięcia zanieczyszczenia jej pyłem.

12

Podrecznik Instrukcji

Instalacja

152/270 TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A)

Postać 1

Instalacja

UWAGA!

Usunąć taśmę klejącą i zdjąć korek zabezpieczający tylko w momencie

połączenia pompy do systemu.

Postać 2

Podrecznik Instrukcji

Mocowanie pompy

12

TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A) 153/270

Nie instalować i / lub użytkować pompy w otoczeniach wystawionych

na czynniki atmosferyczne (deszcz, mróz, śnieg), pyły, gazy chemiczne,

w środowiskach wybuchowych lub z wysokim zagrożeniem pożaru.

Podczas działania obowiązkowo należy przestrzegać następujące

warunki otoczenia:

 maksymalne ciśnienie: 2 bary ponad ciśnieniem atmosferycznym

 temperatura: od + 5 °C do +35 °C (patrz wykres graficzny w

dodatku “Technical Information”)

 względna wilgoć 0 -95 % (bez opar).

W obecności pól elektromagnetycznych pompa musi być odpowiednio

zabezpieczona przez odpowiednie ekranowanie. W celu

szczegółowego zapoznania się z tematem patrz dodatek “Technical

Information”. TV 702 SEM musi być podłączony do głównej pompy

(patrz schemat w dodatku “Technical Information”)

Mocowanie pompy

ZAGROŻENIE!

W przypadku uszkodzenia na wirniku, połączenie między pompą a systemem

może być poddane odpowiednio wysokiemu momentowi. Jeżeli połączenie

jest niewystarczające aby wytrzymać dany moment, pompa może się

odczepić od systemu lub silnik może odczepić się od obudowy pompy. W

takim przypadku fragmenty metalu mogą być wyrzucone przez pompę lub

przez system, i mogą one spowodować poważne uszkodzenia lub śmierć

osób, jak i uszkodzić aparaturę znajdującą się w pobliżu systemu.

Zamocować pompę TV 702 SEM w pozycji stabilnej, montując

kołnierz wejścia turbopompy do kołnierza systemu, dokręcając w taki

sposób aby połączenie to wytrzymało moment 8600 Nm wokół

własnej osi. Na przykład kołnierz ISO-K może być zamocowany

stalowymi zaciskami o odpowiedniej wytrzymałości (typ modelu

Agilent IC63250DCMZ).

W niniejszej tabeli przedstawione zostały, dla każdego kołnierza, ilość

potrzebnych zacisków IC63250DCMZ i moment dokręcenia ich.

12

Podrecznik Instrukcji

Mocowanie pompy

154/270 TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A)

Tab. 1

KOŁNIERZ Nr. MOMENT DOKRĘCENIA

ISO 160 K 10 35 Nm

ISO 200 K 8 35 Nm

Turbopompa z kołnieżem wejściowym ISO 160 F lub ISO 200 F

powinna zostać przymocowana do komory prożniowej drobnymi

mechanicznymi narzędziami firma Agilent.

W celu dodatkowych informacji należy zapoznać się z dodatkiem

“Technical Information”

TV 702 SEM może być zainstalowany w jakiejkolwiek pozycji.

Funkcjonowanie pompy TV 702 SEM zostanie zoptymizowane

montażem w pozycji pionowej.

PRZYPIS

System TV 702 SEM nie może być mocowany poprzez własną podstawę.

UWAGA!

TV 702 SEM należy do drugiej kategorii instalacji (lub nadnapięcia) przewidzianej

przez normę EN 61010-1. Dlatego też podłączyć urządzenie do linii zasilania która

spełni te wymogi. TV 702 SEM posiada konektory wejściowe/ wyjściowe i dla

komunikacji szeregowej które muszą być podłączone do obwodów zewnętrznych

w sposób aby żadna część znajdująca się pod napięciem nie mogła być

dostępna. Należy upewnić się że izolacja podłączonego urządzenia do TV

551/701 SEMNavigator, posiada odpowiednie odizolowanie nawet w stanie

pojedynczej usterki zgodnie z wymaganiami normy EN 61010-1.

Aby zainstalować opcjonalne akcesoria, należy zapoznać się z

„Technical Information”.

Podrecznik Instrukcji

Użytkowanie

12

TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A) 155/270

Użytkowanie

W tym paragrafie zostały przedstawione główne procedury

operacyjne. Przed zastosowaniem systemu należy wykonać wszystkie

połączenia elektryczne i pneumatyczne. Podczas ewentualnego

nagrzania komory próżniowej, temperatura na kołnierzu nie może

przekroczyć 120 °C.

ZAGROŻENIE!

Nigdy nie należy uruchomić pompę w przypadku kiedy kołnierz wejściowy

nie jest podłączony do komory lub nie jest zamknięty z kołnierzem

zamknięcia. Nie dotykać turbopompy i jej ewentualnych akcesoriów podczas

operacji nagrzewania. Wysoka temperatura może spowodować uszkodzenia

ciała na osobach.

UWAGA!

Unikać uderzeń, wahań lub gwałtownych przesunięć turbopompy podczas jej

działania. Mogą uszkodzić się łożyska. Dla wlotu do powietrza pompy

zastosować powietrze lub obojętny gaz bez pyłu lub innych cząstek. Ciśnienie

wejściowe poprzez odpowiedni wlot musi być niższe od 2 bar (ponad ciśnienie

atmosferyczne). Dla pompowania niszczących gazów, pompy te są wyposażone

w odpowiedi wlot poprzez który należy dostarczyć pompie przepływ obojętnego

gazu (Azot Argon) dla zabezpieczenia łożysk (Patrz dodatek „Technical

Information”).

ZAGROŻENIE!

Kiedy pompa jest zastosowana do pompowania gazów toksycznych, łatwo

palnych lub radioaktywnych, należy wykonać odpowiednie procedury typowe

dla każdego z gazów. Nie stosować pompy w obecności gazów

wybuchowych.

12

Podrecznik Instrukcji

Użytkowanie

156/270 TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A)

Włączenie i Użytkowanie systemu TV 702 SEM

Aby włączyć TV 702 SEM wystarczy dostarczyć napięcie zasilania do

kontrolera (opcjonalny) który rozpoznaje automatycznie obecność

sygnałów interlock-u i rozruchu i uruchamia pompę. Pierwsze

uruchomienie pompy odbywa się w sposób Soft-Start który na

zakończenie cyklu uruchomienia, wyłącza się automatycznie, i

dlatego też wszystkie następne uruchomienia odbywają się bez

sposobu „Soft-Start” Aby móc ponownie uruchomić z “Soft-Start”

należy włączyć w/w tryb poprzez oprogramowanie (patrz paragraf

“RS 232/485 OPIS KOMUNIKACJI” w dodatku “Technical

Information”). Zielona dioda LED znajdująca się na panelu czołowym

kontrolera wskazuje częstotliwością własnego migania stan

operatywny systemu:

 zaświecona na stałe: pompa znajduje się w stanie normalnych

obrotów;

 miga powoli (okres 400 ms.): system w stanie zbocza, lub

hamowania, lub w stanie Stop lub w stanie “Waiting for

interlock”;

 miga szybko (okres 200 ms.): stan błędu.

Zatrzymanie systemu TV 702 SEM

Aby zatrzymać pompę TV 702 SEM wystarczy odłączyć napięcie

zasilające kontrolera który natychmiast pompę zatrzyma.

ZAGROŻENIE!

Dla zagwarantowania bezpieczeństwa operatorowi, kontroler Turbo-V

powinien być zasilany kablem zasilającym o 3 przewodach (zobacz tabelę

części dających się zamówić) i zamontowaną wtyczką (zgodna z

międzynarodowymi normami). Kabel ten podłączyć wraz z wtyczką do

kontaktu uziemionego celem uniknięcia porażeń prądem elektrycznym oraz

spełnienia wymogów norm CE. Duże siły wewnętrzne wytwarzające się w

kontrolerze mogą spowodować poważne uszkodzenia ciała lub śmierć. Przed

przeprowadzeniem czynności konserwacyjnych wewnątrz tego urządzenia

odłączyć kabel zasilający.

Podrecznik Instrukcji

Konserwacja

12

TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A) 157/270

Zatrzymanie Alarmowe

Aby zatrzymać w stanie awaryjno-alarmowym TV 702 SEM należy

odłączyć kabel zasilania ze sterownika.

Konserwacja

Pompa TV 702 SEM nie wymaga żadnej konserwacji. Jakakolwiek

interwencja musi być wykonana przez upoważniony personel.

ZAGROŻENIE!

Przed wykonaniem jakiejkolwiek interwencji na systemie, należy odłączyć

go od zasilania, otworzyć odpowiedni zawór dla wlotu powietrza, odczekać

aż do całkowitego zatrzymania wirnika i odczekać aż temperatura

powierzchni pompy będzie wynosiła poniżej 50 °C.

W przypadku usterki możliwe jest skorzystanie z serwisu

naprawczego Agilent który pozwoli na uzyskanie zregenerowanego

systemu w zastępstwie uszkodzonego systemu.

PRZYPIS

Przed wysyłaniem do konstruktora pompy lub advanced exchange service celem

naprawy, należy obowiązkowo wypełnić i przekazać do miejscowego biura

sprzedaży kartę „Bezpieczeństwo i Zdrowie” załączoną do niniejszej instrukcji.

Jedna kopia karty musi być włożona do opakowania systemu przed jego

wysyłką.

Jeżeli system musi być poddany rozbiórce, należy przystąpić do jego

eliminacji zgodnie z obowiązującymi krajowymi normami w meritum

sprawy.

12

Podrecznik Instrukcji

Przetworstwo odpadow

158/270 TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A)

Przetworstwo odpadow

Objaśnienie znajdujące się na etykiecie napisu "WEEE"

Użyty poniżej symbol jest zgodny z wymogiem zarządzenia "WEEE"

Unii Europejskiej.

Symbol ten (prawomocny tylko w krajach Unii Europejskiej)

oznacza, że wyrób nim oznaczony, nie może być przetworzony jako

odpad razem z innymi domowymi lub przemysłowymi odpadami, lecz

musi być składowany w miejscu przeznaczonym dla odpadów do

przeróbki zróżnicowanej.

Dlatego tez poleca się użytkownikowi, po uprzedniej weryfikacji

terminu i warunków zawartych w kontrakcie sprzedaży, nawiązać

kontakt z dostawca lub sprzedawca urządzenia w celu uruchomienia

procesu zbiorki i przerobu.

Strona jest ładowana ...

Converters.TV 702 Instrukcja obsługi

Converters.TV 702 Instrukcja obsługi

w innych językach

Inne dokumenty