Varian 969-8871 Instrukcja obsługi

Turbo-V 2K-G

Pumping System

Models

969-8871

969-8873

87-900-968-01(C)

MAY 2005

MANUALE DI ISTRUZIONI

BEDIENUNGSHANDBUCH

NOTICE DE MODE D’EMPLOI

MANUAL DE INSTRUCCIONES

MANUAL DE INSTRUÇÕES

BEDRIJFSHANDLEIDING

INSTRUKSTIONSBOG

BRUKSANVISNING

INSTRUKSJON MANUAL

OHJEKÄSIKIRJA

ODHGIES CRHSEWS

FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV

PODRECZNIK INSTRUKCJI

NÁVOD K POUŽITÍ

NÁVOD NA OBSLUHU

PRIROČNIK ZA NAVODILA

INSTRUCTION MANUAL

Turbo-V 2K-G

ISTRUZIONI PER L’USO ...................................................................................................................................1

GEBRAUCHSANLEITUNG ................................................................................................................................5

MODE D’EMPLOI...............................................................................................................................................9

INSTRUCCIONES DE USO .............................................................................................................................13

INSTRUÇÕES PARA O USO...........................................................................................................................17

GEBRUIKSAANWIJZINGEN............................................................................................................................21

BRUGSANVISNING .........................................................................................................................................25

BRUKSANVISNING..........................................................................................................................................29

BRUKERVEILEDNING.....................................................................................................................................33

KÄYTTÖOHJEET .............................................................................................................................................37

PDHGIES CRHSEWS ...........................................................................................................................................41

HASZNÁLATI UTASÍTÁS.................................................................................................................................45

INSTRUKCJA UZYTKOWANIA........................................................................................................................49

PŘÍRUČKA K POUŽITÍ.....................................................................................................................................53

NÁVOD K POUŽITIU........................................................................................................................................57

NAVODILA ZA UPORABO...............................................................................................................................61

INSTRUCTIONS FOR USE..............................................................................................................................65

TECHNICAL INFORMATION...........................................................................................................................69

DESCRIPTION OF THE TURBO-V 2K-G....................................................................................69

Pump Description ..............................................................................................................69

Controller Description ........................................................................................................70

TECHNICAL SPECIFICATION ....................................................................................................70

TURBO-V 2K-G OUTLINE...........................................................................................................73

INTERCONNECTIONS................................................................................................................73

J1 – REMOTE I/O..............................................................................................................73

J2 - Serial...........................................................................................................................76

SERIAL CABLE INSTALLATION.................................................................................................76

RS 232/RS 485 COMMUNICATION DESCRIPTION..................................................................77

Communication Format .....................................................................................................77

Communication Protocol....................................................................................................77

Window Meanings .............................................................................................................79

MONITORR..................................................................................................................................81

Powering on the MoniTorr .................................................................................................81

Operation ...........................................................................................................................81

Maintenance ......................................................................................................................81

MoniTorr Installation on the Network and on the Main PC................................................81

MoniTorr Connectivity Kit Installation Procedure...............................................................82

Interconnections ................................................................................................................83

Network Connector (RS 485) ............................................................................................83

Installing the File Download Software ...............................................................................83

Operating Procedure .........................................................................................................84

Download Software............................................................................................................84

Functionality.......................................................................................................................84

Modifying the Parameters..................................................................................................84

Archive Saving Method Procedure ....................................................................................85

PROFIBUS OPTION....................................................................................................................85

General ..............................................................................................................................85

Mechanical.........................................................................................................................85

Installation..........................................................................................................................85

Configuration......................................................................................................................86

Indicators ...........................................................................................................................86

Software operation and state machine ..............................................................................86

Diagnostic management....................................................................................................92

Diagnostic buffer................................................................................................................92

INLET SCREEN INSTALLATION ................................................................................................93

WATER COOLING CONNECTION .............................................................................................93

PUMP PURGING AND VENTING ...............................................................................................94

Purge and Vent Installation................................................................................................94

Pump used with corrosive gases.......................................................................................94

HIGH VACUUM FLANGE CONNECTION...................................................................................95

FORE-VACUUM PUMP CONNECTION .....................................................................................95

PUMP USED IN PRESENCE OF MAGNETIC FIELDS ..............................................................95

ORDERABLE PARTS..................................................................................................................95

ISTRUZIONI PER L'USO

1 87-900-968-01(C)

Indicazioni di Sicurezza

per

Pompe Turbomolecolari

Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata

quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa speci-

fica dei loro rotori.

Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra rotore e statore o per

una rottura del rotore, l'energia di rotazione potrebbe essere rilasciata.



PERICOLO!

Per evitare danni all'apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori, è

necessario seguire attentamente le istruzioni di installazione descritte

nel presente manuale!

ISTRUZIONI PER L'USO

2 87-900-968-01(C)

INFORMAZIONI GENERALI

Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. L'uti-

lizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di

istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla

Varian prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Varian si

ritiene sollevata da eventuali responsabilità dovute all'inosser-

vanza totale o parziale delle istruzioni, ad uso improprio da

parte di personale non addestrato, ad interventi non autorizzati

o ad uso contrario alle normative nazionali specifiche.

La Turbo-V 2K-G è un sistema integrato costituito da una pom-

pa turbomolecolare per applicazioni di alto e ultra alto vuoto e

dal relativo controller. Il sistema è capace di pompare molti tipi

di gas o di composto gassoso, ma non è adatto per il pompag-

gio di liquidi o di particelle solide.

L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad

elevata velocità (33000 giri/min. max) mossa da un motore

elettrico trifase ad alto rendimento. La Turbo-V 2K-G è total-

mente priva di agenti contaminanti, ed è quindi adatta per ap-

plicazioni che richiedono un vuoto "pulito".

Ha inoltre dei connettori ausiliari tramite i quali è possibile pilo-

tarlo da remoto tramite un computer host collegato con linea

seriale (RS232 o RS485).

Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni ne-

cessarie a garantire la sicurezza dell'operatore durante l'utilizzo

dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono fornite nel-

l'appendice “Technical information”.

Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:



PERICOLO!

I messaggi di pericolo attirano l'attenzione dell'operatore su una

procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo

corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali.

!ATTENZIONE!

I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure

che, se non osservate, potrebbero causare danni all'apparec-

chiatura.

NOTA

Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo.

IMMAGAZZINAMENTO

Per garantire il massimo livello di funzionalità ed affidabilità

delle pompe Turbomolecolari Varian, devono essere osservate

le seguenti prescrizioni:

• durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento

delle pompe non devono essere superate le seguenti con-

dizioni ambientali:

• temperatura: da –20 °C a 70 °C

• umidità relativa: da 0 a 95% (non condensante)

• il cliente deve sempre avviare le pompe turbomolecolari nel

modo Soft-Start quando ricevute e messe in funzione per la

prima volta

• il tempo di immagazzinamento di una pompa turbomoleco-

lare è di 10 mesi dalla data di spedizione.

!ATTENZIONE!

Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è supe-

riore, occorre reinviare la pompa in fabbrica. Per ogni informazio-

ne, si prega di contattare il locale rappresentante della Varian.

PREPARAZIONE PER L'INSTALLAZIONE

La Turbo-V 2K-G viene fornita in un imballo protettivo speciale;

se si presentano segni di danni, che potrebbero essersi verifi-

cati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale.

Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare

attenzione a non lasciar cadere la Turbo-V 2K-G e a non sotto-

porla ad urti o vibrazioni.

A causa del suo peso (35 kg) per estrarre la pompa dall'imballo

utilizzare i tre golfari a 120 ° avvitati sul corpo pompa.

Non disperdere l'imballo nell'ambiente. Il materiale è comple-

tamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85/399 per la

tutela dell'ambiente.

!ATTENZIONE!

Onde evitare problemi di degasamento, non toccare con le

mani nude i componenti destinati ad essere esposti al vuoto.

Utilizzare sempre i guanti o altra protezione adeguata.

NOTA

La Turbo-V 2K-G non può essere danneggiata rimanendo

semplicemente esposta all'atmosfera. Si consiglia comunque di

mantenere la pompa chiusa e sigillata fino al momento dell'in-

stallazione sul sistema. Questo per prevenire la contaminazione

del sistema.

Nell’imballo della Turbo-V 2K-G sono compresi:

1. pompa con controller integrato

2. inlet screen (montato)

3. questo manuale su CD-ROM

4. sacchetto accessori

5. controconnettore a 15 vie “REMOTE I/O” IP-54 con inte-

grate le connessioni necessarie a far partire la pompa

6. controconnettore a 9 vie “SERIAL” IP-54 da utilizzare per

la connessione seriale

7. controconnettore a 9 pin per il "Network" MoniTorr

8. staffetta per la ritenzione del cavo di alimentazione (mon-

tata).

ISTRUZIONI PER L'USO

3 87-900-968-01(C)

INSTALLAZIONE



PERICOLO!

La pompa, a causa del suo peso, deve essere maneggiata

tramite appositi attrezzi di sollevamento e spostamento.

All’uopo utilizzare gli appositi golfari avvitati nei fori filettati pra-

ticati sul corpo pompa.

!ATTENZIONE!

Non rimuovere la copertura imbullonata prima del collegamento

della turbopompa al sistema.

Non installare e/o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad

agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi,

in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio.

Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le

seguenti condizioni ambientali:

− pressione massima: 2 bar oltre la pressione atmosferica

− temperatura dell'aria: da + 5 °C a +40 °C

− umidità relativa: 0 - 95% (non condensante).

In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere

protetta tramite opportuni schermi. Vedere l'appendice "Techni-

cal Information" per ulteriori dettagli.

La Turbo-V 2K-G deve essere collegata ad una pompa primaria

(vedere schema in "Technical Information").

La Turbo-V 2K-G può essere installata in qualsiasi posizione.

Fissare la Turbo-V 2K-G in posizione stabile collegando la

flangia di ingresso della turbopompa ad una controflangia fissa

capace di resistere ad una coppia di 10600 Nm attorno al pro-

prio asse.

La turbopompa con flangia di ingresso ISO deve essere fissata

alla camera da vuoto per mezzo di bulloni. La seguente tabella

descrive il numero di bulloni necessari e con quale coppia di

serraggio consigliata da Varian stringerli.

FLANGIA

TIPO DI

FISSAGGIO

N.

COPPIA DI

SERRAGGIO

ISO 250 F Bullone con filettatura

M10

12 22 Nm

NOTA

La Turbo-V 2K-G non può essere fissata tramite la sua base. Il

sistema può essere fissato solo tramite la sua flangia ISO 250F. Il

fissaggio deve realizzato in conformità alla norma ISO 1609.

Devono essere usati bulloni in acciaio con una classe di resisten-

za di almeno 500 N/mm

2

.

!ATTENZIONE!

La Turbo-V 2K-G appartiene alla seconda categoria di installa-

zione (o sovratensione) prevista dalla normativa EN 61010-1.

Connettere quindi il dispositivo ad una linea di alimentazione

che soddisfi tale categoria.

Utilizzare i controconnettori in dotazione per garantire l'isola-

mento IP-54.

La Turbo-V 2K-G ha dei connettori per gli ingressi/uscite e per

la comunicazione seriale che devono essere connessi ai circuiti

esterni in modo che nessuna parte sotto tensione sia accessibi-

le.

Assicurarsi che l’isolamento del dispositivo connesso alla Tur-

bo-V 2K-G abbia un isolamento adeguato anche in condizione

di guasto singolo come previsto dalla normativa EN 61010-1.

Per l'installazione degli accessori opzionali, vedere "Technical

Information".

USO

In questo paragrafo sono riportate le principali procedure ope-

rative.

Prima di usare il sistema effettuare tutti i collegamenti elettrici e

pneumatici.

Durante l'eventuale riscaldamento della camera da vuoto, la

temperatura sulla flangia di ingresso non deve essere superiore

a 80 °C.

Durante il funzionamento della pompa la temperatura del rotore

non deve mai superare i 120 °C.

L'operatore deve assicurarsi di predisporre il corretto modo di

funzionamento in funzione del gas da pompare: 1 per Azoto e

gas più leggeri, 0 per Argon (modo di default). Per ulteriori det-

tagli vedere l'appendice "Technical Information".



PERICOLO!

Non far funzionare mai la pompa se la flangia di ingresso non è

collegata alla camera a vuoto o non è chiusa con la flangia di

chiusura.

Non toccare la turbopompa e i suoi eventuali accessori durante

le operazioni di riscaldamento. L'elevata temperatura può cau-

sare lesioni alle persone.

!ATTENZIONE!

Evitare urti, oscillazioni o bruschi spostamenti della turbopompa

quando è in funzione. I cuscinetti potrebbero danneggiarsi.

Per la mandata all'aria della pompa utilizzare aria o gas inerte

esente da polvere o particelle. La pressione di ingresso attra-

verso l'apposita porta deve essere inferiore a 1 bar (oltre la

pressione atmosferica).

Per il pompaggio di gas aggressivi queste pompe sono dotate

di una apposita porta attraverso la quale è necessario fornire

alla pompa un flusso di gas inerte (Azoto o Argon) per proteg-

gere i cuscinetti (vedere l'appendice "Technical Information").



PERICOLO!

Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas tos-

sici, infiammabili o radioattivi, seguire le appropriate procedure

tipiche di ciascun gas.

Non usare la pompa in presenza di gas esplosivi.

La pompa è progettata per avere un alto trasferimento di Azoto,

Argon e gas più leggeri.

Nel caso in cui ci fosse la necessità di pompare gas più pesanti

dell'Argon si prega di prendere contatti con l'Assistenza Tecni-

ca della Varian per informazioni.

ISTRUZIONI PER L'USO

4 87-900-968-01(C)

Uso della Turbo-V 2K-G

Come avviare il sistema

Prima dell'avvio del sistema, controllare che il controconnettore

I/O sia rimosso. Se il sistema è collegato ad un dispositivo di

Inpu/Output remoto, assicurarsi che il segnale di STOP sia

attivo (vedere il paragrafo "J1 – REMOTE I/O" nell'appendice

"Technical Information").

Per avviare il sistema eseguire i seguenti passi:

1. rimuovere (se presente) il controconnettore I/O

2. collegare l'alimentazione di rete

3. portare la pressione all0'interno della camera a vuoto a 0,1

mbar

4. fornire alla Turbo-V 2K-G il segnale di START in uno dei

seguenti modi:

a. collegare il controconnettore I/O in dotazione

b. dare il segnale di START da remoto tramite il

connettore I/O (vedere il paragrafo "J1 –

REMOTE I/O" nell'appendice "Technical Infor-

mation")

c. dare il segnale di START da remoto tramite l'inter-

faccia seriale RS 232/485 (vedere il paragrafo "RS

232/485 Communication Description" nell'appendi-

ce "Technical Information").



PERICOLO!

Quando viene fornita l'alimentazione ed il controconnettore a

15 pin in dotazione è inserito, la Turbo-V 2K-G si avvia automa-

ticamente.

!ATTENZIONE!

Il controller viene fornito già connesso meccanicamente ed

elettricamente alla pompa. La separazione del controller dal

corpo pompa può solo essere effettuata da personale autoriz-

zato dalla Varian Vacuum Technologies.

NOTA

Quando si avvia la Turbo-V 2K-G per la prima volta, il controller

automaticamente avvia il sistema con una procedura speciale

che protegge i cuscinetti da possibili danni (SOFT START). Il

sistema viene avviato a passi successivi fino alla piena velocità

in un tempo che varia da 10 minuti fino ad 1 ora. Dopo che il

sistema ha raggiunto la piena velocità, la procedura di "soft

start" viene disabilitata e gli avvii successivi vengono eseguiti

nel modo normale.

NOTA

Per mantenere il livello di protezione IP-54 utilizzare esclusiva-

mente i connettori forniti con la pompa. Per il cavo di alimenta-

zione utilizzare solo i PN: 969-9957 or 969-9958, e fissare il

cavo al controller con l’apposita staffetta (vedere la figura se-

guente). Utilizzare questo cavo e spina insieme ad una presa

adeguatamente connessa a terra per evitare scosse elettriche e

soddisfare i requisiti delle norme CE.

Il sistema è fornito di un LED verde pilotato da un segnale di

stato.

Il LED verde posto sul pannello frontale della Turbo-V 2K-G

indica, con la frequenza del suo lampeggio, le condizioni opera-

tive del sistema:

− acceso fisso: la pompa è in rotazione normale;

− lampeggiante lentamente (periodo di circa 400 ms): il si-

stema è in stato di rampa, o di frenata, o di Stop, o di “Wai-

ting for interlock”;

− lampeggiante velocemente (periodo di circa 200 ms): con-

dizione di errore.

Come arrestare la Turbo-V 2K-G

Per arrestare la pompa si può usare uno dei seguenti metodi:

1. togliendo il controconnettore di I/O in dotazione

2. inviando un segnale di STOP da remoto tramite il connet-

tore I/O (vedere il paragrafo "J1 – REMOTE I/O" nell'ap-

pendice "Technical Information")

3. inviando un segnale di STOP da remoto tramite l'interfac-

cia seriale RS 232/485 (vedere il paragrafo "RS 232/485

Communication Description" nell'appendice "Technical In-

formation").

Arresto di Emergenza

Per arrestare immediatamente in condizioni di emergenza la

Turbo-V 2K-G occorre staccare il cavo di alimentazione dall'a-

limentazione.

MANUTENZIONE

La Turbo-V 2K-G non richiede alcuna manutenzione. Qualsiasi

intervento deve essere eseguito da personale autorizzato.



PERICOLO!

Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo

dall’alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo l'apposi-

ta elettrovalvola, attendere fino al completo arresto del rotore

ed attendere che la temperatura superficiale della pompa sia

inferiore a 50°C.

In caso di guasto è possibile usufruire del servizio di riparazio-

ne Varian o del "Varian advanced exchange service", che per-

mette di ottenere un sistema rigenerato in sostituzione di quello

guasto.

NOTA

Prima di rispedire al costruttore un sistema per riparazioni o

advanced exchange service, è indispensabile compilare e far

pervenire al locale ufficio vendite la scheda "Sicurezza e Salu-

te" allegata al presente manuale di istruzioni. Copia della stes-

sa deve essere inserita nell'imballo del sistema prima della

spedizione.

Qualora un sistema dovesse essere rottamato, procedere alla

sua eliminazione nel rispetto delle normative nazionali specifi-

che.

GEBRAUCHSANLEITUNG

5 87-900-968-01(C)

Sicherheitshinweise

für

Turbomolekularpumpen

Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen verfü-

gen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Ge-

wicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie.

Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder

durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden.



GEFAHR!

Um Schäden am Gerät zu vermeiden und um Verletzungen der Bediener

vorzubeugen, befolgen Sie bitte aufmerksam die in diesem Handbuch

beschriebenen Installationshinweise!

GEBRAUCHSANLEITUNG

6 87-900-968-01(C)

ALLGEMEINE INFORMATIONEN

Dieser Apparat ist für den fachmännischen Gebrauch bestimmt.

Vor dem Gebrauch hat der Benutzer dieses Handbuch sowie

alle weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau zu

lesen. Bei auch teilweiser Nichtbeachtung der enthaltenen

Anweisungen, unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes

Personal, nicht autorisierten Eingriffen und Mißachtung der

nationalen einschlägigen Normen übernimmt die Firma Varian

keinerlei Haftung.

Modell Turbo-V 2K-G ist ein integriertes System, das aus einer

Turbomolekularpumpe für Hoch- und Höchstvakuum-

anwendungen, integriert mit einem entsprechenden Controller,

besteht. Das System kann viele Arten von Gas oder gasförmi-

gen Gemischen pumpen, ist jedoch nicht für das Pumpen von

Flüssigkeiten oder Festkörperpartikeln geeignet.

Die Pumpwirkung wird durch eine hochtourige Turbine (max.

33000 1/min) erreicht, die von einem Hochleistungs-

drehstrommotor angetrieben wird. Modell Turbo-V 2K-G enthält

keinerlei umweltschädliche Substanzen und eignet sich des-

halb auch für Anwendungen, die ein "sauberes" Vakuum erfor-

dern.

Es verfügt des Weiteren über Hilfskonnektoren, über die es von

einem Host-Rechner mit seriellem Anschluss (RS232 oder

RS485) ferngesteuert werden kann.

In den folgenden Abschnitten sind alle erforderlichen Informati-

onen für die Sicherheit des Bedieners bei der Anwendung des

Geräts aufgeführt. Detaillierte technische Informationen sind im

Anhang "Technical Information" enthalten.

In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise

folgendermaßen hervorgehoben:



GEFAHR!

Die Gefahrenhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedie-

ners auf einen Vorgang oder eine bestimmte Ausführungswei-

se, die bei unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen her-

vorrufen könnten.

!ACHTUNG!

Die Warnhinweise werden vor Vorgängen angegeben, die bei

Nichtbeachtung Schäden an der Anlage verursachen könnten.

HINWEIS

Die Hinweise enthalten wichtige Informationen, die aus dem

Text hervorgehoben werden.

LAGERUNG

Um ein Höchstmaß an Effizienz und Zuverlässigkeit der Varian

Turbomolekularpumpen zu gewährleisten, sind die folgenden

Anweisungen zu beachten:

• Während des Transports, der Handhabung und der Einla-

gerung der Pumpen dürfen die folgenden Grenzwerte nicht

überschritten werden:

• Temperatur: von –20 °C bis 70 °C

• Relative Feuchtigkeit: von 0 bis 95% (nicht kondensie-

rend)

• Der Kunde hat die Turbomolekularpumpen nach dem Emp-

fang bei Erstinbetriebnahme stets im Modus Soft-Start in-

gangzusetzen.

• Die Lagerdauer für eine Turbomolekularpumpe beträgt 10

Monate ab dem Speditionsdatum.

!ACHTUNG!

Falls die Lagerdauer aus verschiedentlichen Gründen die ge-

nannte Frist überschreiten sollte, ist die Pumpe an das Werk

zurückzusenden. Für Informationen wenden Sie sich bitte an

den örtlichen Varian Vertreter.

VOR DER INSTALLATION

Modell Turbo-V 2K-G wird in einer speziellen Schutzverpa-

ckung geliefert. Eventuelle Transportschäden sind der zustän-

digen örtlichen Verkaufsstelle zu melden. Modell Turbo-V 2K-G

ist vorsichtig auszupacken, wobei es vor dem Herunterfallen

und vor Stößen und Vibrationen zu schützen ist. Das Verpa-

ckungsmaterial ist vorschriftsgemäß zu entsorgen.

Für die Entnahme der Pumpe aus ihrer Verpackung sind, auf-

grund des hohen Gewichtes (35 kg), die drei um 120º versetz-

ten Ösenschrauben zu benutzen, die am Pumpenkorpus ange-

schraubt sind.

Es ist vollständig recyclebar und entspricht der Richtlinie

85/399/EWG für Umweltschutz.

!ACHTUNG!

Um Entgasungen zu vermeiden, dürfen die Teile, die mit dem

Vakuum in Berührung kommen, nicht mit den bloßen Händen

angefaßt werden. Es sind stets Schutzhandschuhe oder andere

Schutzmittel zu verwenden.

HINWEIS

Die Turbo-V 2K-G kann durch ledigliche Einwirkung von atmo-

sphärischen Bedingungen nicht beschädigt werden. Es wird

indes empfohlen, die Pumpe bis zur Installation am System

geschlossen und versiegelt zu halten. Auf diese Weise kann

der Verunreinigung des Systems vorgebeugt werden.

Verpackungsinhalt der Turbo-V 2K-G:

1. Pumpe mit integriertem Controller

2. Inlet-Screen (montiert)

3. Betriebsanleitung auf CD-ROM

4. Beutel mit Zubehör

5. Gegenkonnektor mit 15 PINs “REMOTE I/O” IP-54 mit

integrierten Anschlüssen für den Pumpenanlauf

6. Gegenkonnektor mit 9 PINs “SERIAL” IP-54 für den se-

riellen Anschluss

7. Gegenkonnektor mit 9 PINs "Network" MoniTorr

8. Halteschelle für das Stromversorgungskabel (montiert).

GEBRAUCHSANLEITUNG

7 87-900-968-01(C)

INSTALLATION



GEFAHR!

Die Pumpe ist aufgrund ihres hohen Gewichtes mit geeigneten

Hebe- und Förderzeugen zu handhaben. Zu diesen Zwecken

sind die Ösenschrauben zu benutzen, die in die Gewindeboh-

rungen am Pumpenkorpus eingeschraubt sind.

!ACHTUNG!

Die angeschraubte Abdeckung darf erst nach Anschluss der

Turbopumpe an das System entfernt werden.

Die Pumpe darf nicht in Umgebungen, die ungeschützt vor

Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und aggressiven Gasen

sind, sowie auch nicht in explosionsfähigen oder erhöht brand-

gefährdeten Umgebungen installiert und/oder benutzt werden.

Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen ein-

gehalten werden:

- Maximaler Druck: 2 bar über dem atmosphärischen Druck

- Temperatur: von +5°C bis +40°C (siehe Diagramm im An-

hang "Technical Information")

- Relative Luftfeuchtigkeit: 0 - 95% (nicht kondensierend).

Bei Vorhandensein von elektromagnetischen Feldern ist die

Pumpe entsprechend abzuschirmen. Für ausführliche Informa-

tionen siehe im Anhang "Technical Information".

Modell Turbo-V 2K-G ist an eine Primärpumpe anzuschließen

(siehe Schema in "Technical Information").

Modell Turbo-V 2K-G kann in jeder beliebigen Position instal-

liert werden.

Modell Turbo-V 2K-G ist stabil zu befestigen, indem der

Flansch am Eingang der Turbopumpe an einen festen Gegen-

flansch angeschlossen wird, der mit einem Drehmoment von

10600 Nm um seine eigene Achse belastbar ist.

Die Turbopumpe mit dem ISO-Eintrittsflansch ist mittels Mutter-

schrauben an der Vakuumkammer zu befestigen. In der nach-

stehenden Tabelle sind die Anzahl der erforderlichen Mutter-

schrauben und die von Varian empfohlenen Anzugsmomente

angegeben.

FLANSCH

KLEMMSCHELLE

ANZ. ANZUGSMOMENT

ISO 250 F Mutterschraube

mit Gewinde M10

12 22 Nm

HINWEIS

Die Turbo-V 2K-G kann nicht über ihren Sockel befestigt wer-

den. Zur Befestigung des Systems ist der Flansch ISO 250F zu

verwenden. Die Befestigung muss nach ISO 1609 ausgeführt

sein.

Es sind Mutterschrauben aus Stahl mit einer Festigkeitsklasse

von mindestens 500 N/mm

2

zu verwenden.

!ACHTUNG!

Der Turbo-V 2K-G gehört zur zweiten Installationsklasse (Ü-

berdruck) die von den Normen EN 61010-1 vorgesehen ist. Die

Vorrichtung muß daher an eine Speisungsleitung angeschlos-

sen werden, die dieser Kategorie entspricht.

Zur Gewährleistung der Schutzart IP-54 sind die Gegenkonnek-

toren zu verwenden.

Der Turbo-V 2K-G hat Verbinder für den Ein-und Ausgang und

die Schnittstellenkommunikation, die an die Außenkreise ange-

schlossen werden müssen, sodaß kein Teil unter Spannung

zugänglich ist .

Sicherstellen, daß die Isolierung der an den Turbo-V 2K-G

angeschlossenen Vorrichtung auch bei einer Einzelstörung

ausreichend isoliert, wie es von der Richtlinie EN 61010-1

vorgesehen wird.

Für die Installation der Optionsteile siehe im Anhang "Technical

Information".

GEBRAUCH

In diesem Abschnitt werden die wichtigsten Betriebsvorgänge

erläutert.

Vor Benutzung des Systems sind alle elektrischen und pneu-

matischen Anschlüsse auszuführen.

Während der eventuellen Aufheizung der Vakuumkammer darf

die Temperatur am Eingangsflansch 80°C nicht überschreiten.

Während des Pumpenbetriebs darf die Temperatur des Läufers

niemals 120 °C überschreiten.

Der Bediener hat sich zu vergewissern, dass die richtige Be-

triebsart in Abhängigkeit von dem zu pumpenden Gas einge-

stellt ist: 1 für Stickstoff und leichtere Gase, 0 für Argon (vor-

eingestellte Betriebsart). Für ausführliche Informationen siehe

im Anhang "Technical Information".



GEFAHR!

Die Pumpe darf nicht in Betrieb genommen werden, wenn der

Eingangsflansch nicht an die Vakuumkammer angeschlossen

oder nicht mit dem Verschlußflansch verschlossen ist.

Während des Aufheizens dürfen weder die Pumpe noch even-

tuelle heiße Zubehörteile berührt werden. Es besteht Verbren-

nungsgefahr.

!ACHTUNG!

Während des Betriebs sind Stoß- und Vibrationseinwirkungen

sowie Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden, da

die Lager beschädigt werden könnten.

Für die Belüftung der Pumpe trockene staub- und partikelfreie

Luft oder Inertgase verwenden. Der Eingangsdruck am Belüf-

tungsanschluß soll unter 1 bar (über dem atmosphärischen

Druck) betragen.

Zum Pumpen von aggressiven Gasen sind die Pumpen mit

einer Öffnungsklappe ausgestattet, über die zum Schutz der

Lager Inertgas (Stickstoff oder Argon) zuzuleiten ist (siehe

Anhang "Technical Information").



GEFAHR!

Wenn die Pumpe zur Förderung von giftigen, leicht entflamm-

baren oder radioaktiven Gasen benutzt wird, sind die für das

jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorgänge und Maßnahmen zu

befolgen.

Die Pumpe darf niemals bei Vorhandensein von explosionsfä-

higen Gasen verwendet werden.

Die Pumpe ist für einen hohen Durchsatz an Stickstoff, Argon

und leichteren Gasen konzipiert.

Falls das Pumpen von Gasen erforderlich ist, die schwerer als

Argon sind, ist mit dem Technischen Kundendienst von Varian

Rücksprache zu halten.

GEBRAUCHSANLEITUNG

8 87-900-968-01(C)

Benutzung der Turbo-V 2K-G

Ingangsetzung des Systems

Vor der Ingangsetzung des Systems ist zu kontrollieren, dass der

E/A-Gegenkonnektor entfernt ist. Wenn das System an eine Vor-

richtung für die Ferneingabe/-ausgabe angeschlossen ist, ist zu

überprüfen, dass das Signal STOP aktiv ist (siehe Abschnitt "J1 –

REMOTE I/O " im Anhang "Technical Information").

Zur Ingangsetzung des Systems sind die folgenden Schritte

auszuführen:

1. E/A-Gegenkonnektor entfernen (sofern vorhanden).

2. Gerät an das Netz anschließen.

3. Druck in der Vakuumkammer auf 0,1 mbar bringen.

4. Für die Erteilung des Signals START an die Turbo-V 2K-G

gibt es die folgenden Möglichkeiten:

a. Mitgelieferten E/A-Gegenkonnektor anschließen.

b. Das Signal START von der Fernsteuerung über

den E/A-Konnektor geben (siehe Abschnitt "J1 –

REMOTE I/O" im Anhang "Technical Informati-

on").

c. Das Signal START von der Fernsteuerung über

die serielle Schnittstelle RS 232/485 geben (siehe

Abschnitt "RS 232/485 Communication Descripti-

on" im Anhang "Technical Information").



GEFAHR!

Wenn die Spannung zugeschaltet und der Gegenkonnektor mit

15 PINs angeschlossen ist, startet die Turbo-V 2K-G automa-

tisch.

!ACHTUNG!

Im Lieferumfang ist der mechanisch und elektrisch an die Pumpe

angeschlossene Controller enthalten. Die Trennung des Control-

lers vom Pumpenkorpus darf nur von Personen ausgeführt wer-

den, die von Varian Vacuum Technologies autorisiert sind.

HINWEIS

Bei Erstingangsetzung der Turbo-V 2K-G startet der Controller

das System mit einer Spezialprozedur, um die Kugellager vor

etwaigen Schäden zu schützen (SOFT START). Das System

wird innerhalb von 10 min bis zu 1 h in aufeinander folgenden

Schritten bis zur Arbeitsgeschwindigkeit gestartet. Sobald das

System die Arbeitsgeschwindigkeit erreicht hat, wird die "soft

start"-Prozedur deaktiviert. Die darauf folgenden Anlaufvorgän-

ge werden normal ausgeführt.

HINWEIS

Um die Schutzart IP-54 aufrechtzuerhalten, sind ausschließlich

die mit der Pumpe mitgelieferten Konnektoren zu verwenden.

Für das Stromversorgungskabel dürfen nur die PN 969-9957

oder 969-9958 verwendet werden. Das Kabel ist am Controller

mit der hierfür vorgesehenen Schelle zu befestigen (siehe

nachstehende Abbildung). Verwenden Sie dieses Kabel und

den Stecker zusammen mit einer entsprechend geerdeten

Steckdose, um Stromschläge zu vermeiden und den Anforde-

rungen der EG-Richtlinien zu entsprechen.

Das System wird mit einer grünen LED geliefert, die von einem

Statussignal angesteuert wird.

Die grüne LED LD1 an der Bodenplatte von Modell Turbo-V 2K-

G gibt mit der Häufigkeit ihres Blinkens die Betriebsbedingun-

gen des System an:

- Daueranzeige: Die Pumpe befindet sich im normalen Be-

trieb.

- Langsame Blinkanzeige (ca. 400 ms): das System befindet

sich entweder im Status Rampe, Abbremsung, Stopp oder

“Waiting for Interlock”.

- Schnelle Blinkanzeige (ca. 200 ms): Fehlerstatus.

Stillsetzung der Turbo-V 2K-G

Für die Stillsetzung der Pumpe gibt es die folgenden Möglich-

keiten:

1. Mitgelieferten E/A-Konnektor entfernen.

2. Das Signal STOP von der Fernsteuerung über den E/A-

Konnektor geben (siehe Abschnitt "J1 – REMOTE I/O" im

Anhang "Technical Information").

3. Das Signal STOP von der Fernsteuerung über die serielle

Schnittstelle RS 232/485 geben (siehe Abschnitt "RS

232/485 Communication Description" im Anhang "Techni-

cal Information").

WARTUNG

Modell Turbo-V 2K-G erfordert keine Wartung. Eventuelle Ein-

griffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgeführt

werden.



GEFAHR!

Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die

Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und

abwarten, bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Tempera-

tur am Pumpengehäuse unter 50°C abgesunken ist.

Bei Defekten kann der Varian Service oder der "Varian advan-

ced exchange service" in Anspruch genommen werden, der ein

generalüberholtes System als Ersatz für das defekte System

zur Verfügung stellt.

HINWEIS

Bevor Fa. Varian ein System zur Reparatur oder den Um-

tauschdienst eingesandt wird, ist das Formular "Sicherheit und

Gesundheit", das diesem Handbuch beiliegt, ausgefüllt an die

örtliche Verkaufsstelle zu senden. Eine Kopie ist der Verpa-

ckung des Systems vor dem Versand beizulegen.

Eine eventuelle Verschrottung hat unter Beachtung der ein-

schlägigen nationalen Vorschriften zu erfolgen.

MODE D’EMPLOI

9 87-900-968-01(C)

Normes de sécurité

pour

Pompe Turbomoléculaires

Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une

énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique

de leurs rotors.

En cas de panne du système, par exemple à cause d'un contact entre rotor et stator ou

d'une rupture du rotor, l'énergie de rotation pourrait être libérée.



DANGER!

Pour éviter tout dégât aux appareillages et empêcher toute blessure aux

opérateurs, il faut suivre attentivement les instructions d'installation dé-

crites dans ce manuel !

MODE D’EMPLOI

10 87-900-968-01(C)

INDICATIONS GENERALES

Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation profes-

sionnelle. Avant toute utilisation de l'appareil, il est conseillé à

l'utilisateur de lire attentivement cette notice d'instructions ainsi

que toute autre indication supplémentaire fournie par Varian qui

décline par conséquent toute responsabilité en cas de non

respect total ou partiel des instructions données, d'utilisation

impropre par un personnel non formé, d'opérations non autori-

sées ou d'emploi contraire aux réglementations nationales

spécifiques.

Le Turbo-V 2K-G est un système intégré, constitué d'une

pompe turbomoléculaire conçue pour des applications de vide

poussé et ultrapoussé et doté d'un contrôleur Le système est

en mesure de pomper de nombreux types de gaz ou de com-

posés gazeux, mais il n’est pas adapté au pompage de liquides

ou de particules solides.

L'effet de pompage est obtenu grâce à une turbine tournant à

vitesse élevée (33000 tr/min maxi), mue par un moteur électri-

que triphasé à haut rendement. Le Turbo-V 2K-G est totale-

ment exempt d'agents polluants et il est par conséquent indiqué

pour toutes les applications exigeant un vide "propre".

Il est en outre doté de connecteurs auxiliaires qui permettent de

le piloter à distance à travers un ordinateur central connecté à

travers une ligne sérielle (RS232 ou RS485).

Les paragraphes suivants fournissent toutes les indications

nécessaires à garantir la sécurité de l'opérateur pendant l'utili-

sation de l'appareillage. Des renseignements plus détaillés se

trouvent dans l'appendice "Technical Information".

Cette notice utilise les signes conventionnels suivants:



DANGER!

Les messages de danger attirent l'attention de l'opérateur sur

une procédure ou une manoeuvre spéciale qui, effectuée de

façon impropre, risque de provoquer de graves lésions

! ATTENTION!

Les messages d'attention apparaissent avant certaines procé-

dures dont le non respect pourrait endommager sérieusement

l'appareillage.

NOTE

Les notes contiennent des renseignements importants, extrapo-

lés du texte.

STOCKAGE

Pour garantir les performances et la fiabilité maximales des

pompes turbomoléculaires Varian, il est indispensable de res-

pecter les instructions suivantes :

• Le transport, la manutention et le stockage des pompes,

doivent impérativement avoir lieu dans les conditions am-

biantes suivantes:

• température : de –20 °C à +70 °C

• humidité relative : de 0 à 95% (non condensante)

• A la première utilisation, les pompes turbomoléculaires

doivent toujours être mises en marche en mode soft-Start.

• Le temps de stockage d'une pompe turbomoléculaire est

de 10 mois à compter de la date d'expédition.

! ATTENTION!

En cas de dépassement du temps de stockage, la pompe doit

être retournée en usine. Pour tout renseignement, contacter le

représentant Varian de zone.

PREPARATION POUR L'INSTALLATION

Le Turbo-V 2K-G est livré dans un emballage de protection

spécial; en cas d'endommagement de l'emballage pouvant

s'être produit pendant le transport, contacter le bureau de vente

local.

Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout par-

ticulièrement à ne pas laisser tomber le Turbo-V 2K-G et à ne

lui faire subir aucun choc et aucune vibration.

Compte tenu de son poids (35 kg), il est nécessaire d’utiliser

les trois anneaux de levage à 120° vissé sur le corps de la

pompe pour l’extraire de son emballage.

Ne pas abandonner l'emballage dans la nature. Le matériel est

entièrement recyclable et conforme à la directive CEE 85/399

en matière de protection de l'environnement.

! ATTENTION!

Afin d'éviter tout problème de dégazage, ne pas toucher, à

mains nues, les éléments devant être exposés au vide. Mettre

toujours des gants ou toute autre protection appropriée.

NOTE

La Turbo-V 2K-G ne peut être endommagée par une exposition

environnementale normale. Toutefois, il est conseillé de main-

tenir la pompe fermée et scellée jusqu'à son installation dans le

système. Ceci afin de prévenir toute contamination du système.

La pompe Turbo-V 2K-G comprend :

1. Pompe avec contrôleur intégré.

2. Protection d’entrée (montée).

3. CD-Rom contenant cette notice d’utilisation.

4. Sachet d’accessoires.

5. Connecteur à 15 voies “E/S À DISTANCE” IP-54 avec

toutes les connexions nécessaires à la mise en marche

de la pompe.

6. Connecteur à 9 voies “SÉRIE” IP-54 à utiliser pour la

connexion sérielle.

7. Connecteur à 9 voies "Network" MoniTorr

8. Bride de retenue du câble d’alimentation (montée).

MODE D’EMPLOI

11 87-900-968-01(C)

INSTALLATION



DANGER!

Étant donné son poids, la pompe doit être manipulée à l’aide

des équipements de levage et de déplacement appropriés.

Utiliser les anneaux de levage vissés dans les orifices filetés

sur le corps de la pompe.

! ATTENTION!

Ne jamais retirer la protection boulonnée avant le branchement

de la turbo pompe au système.

Ne pas installer et/ou utiliser la pompe dans des milieux expo-

sés aux agents atmosphériques (pluie, gel, neige), à la pous-

sière, aux gaz agressifs ainsi que dans des milieux explosifs ou

à fort risque d'incendie.

Pendant le fonctionnement, il est nécessaire de respecter les

conditions environnementales suivantes:

- pression maxi: 2 bar au-delà de la pression atmosphérique

- température: de +5°C° à +40°C (Cf. graphique dans "Tech-

nical Information")

- humidité relative: 0 - 95% (non condensante)

En présence de champs magnétiques, la pompe doit être pro-

tégée à l'aide d'écrans appropriés. Pour tout autre renseigne-

ment, se reporter à l'opuscule "Technical Information".

Le Turbo-V 2K-G doit être connecté à une pompe primaire (Cf.

schéma dans "Technical Information").

Le Turbo-V 2K-G peut être installée dans n'importe quelle posi-

tion.

Le fixer dans une position stable, en reliant la bride d'entrée de

la turbopompe à une contre-bride fixe pouvant supporter un

couple de serrage de 10600 Nm autour de son axe.

La turbo pompe avec collerette d’entrée ISO doit être fixée à la

chambre à vide à l’aide de boulons. Le tableau suivant indique

le nombre de boulons nécessaires et le couple de serrage

conseillé par Varian.

BRIDE

TYPE DE

COLLIER

N.

COUPLE DE

SERRAGE

ISO 250 F Boulon à filet M10 12 22 Nm

NOTE

La Turbo pompe V 2K-G ne peut être fixée à l’aide de son so-

cle. Le système peut être fixé uniquement à l’aide de sa bride

ISO 250F. La fixation doit être réalisée en conformité à la

norme ISO 1609.

Il est nécessaire d’utiliser des boulons en acier ayant une classe

de résistance minimum de 500 N/mm

2

.

! ATTENTION!

Le Turbo-V 2K-G appartient à la deuxième catégorie d'installa-

tions (ou surtension) prévue par la norme EN 61010-1. De ce

fait, brancher le dispositif à une ligne d'alimentation compatible

avec cette catégorie.

Utiliser les connecteurs fournis pour garantir le niveau de pro-

tection IP-54.

Le Turbo-V 2K-G dispose de connecteurs pour les en-

trées/sorties et pour la communication en série qui doivent être

branchés aux circuits extérieurs de façon qu'aucune partie sous

tension ne soit accessible.

S'assurer que l'isolation du dispositif branché au Turbo-V 2K-G

a une isolation appropriée même en condition de panne indivi-

duelle selon les termes de la norme EN 61010-1.

Pour l'installation des accessoires en option, se reporter à

"Technical Information".

UTILIZATION

Ce paragraphe présente les principales procédures opération-

nelles.

Avant d'utiliser le système, effectuer tous les branchements

électriques et pneumatiques. Pendant le chauffage éventuel de

la chambre à vide, la température de la bride d'entrée ne doit

pas dépasser 80°C.

Pendant le fonctionnement de la pompe, la température du

rotor ne doit jamais être supérieure à 120 °C.

L'opérateur doit veiller à adapter le mode de fonctionnement au

gaz à pomper : 1 pour azote et gaz plus légers, 0 pour Argon

(mode défaut). Pour plus de détails, consulter l’appendice

"Technical Information".



DANGER!

Ne jamais faire fonctionner la pompe si la bride d'entrée n'est

pas reliée à la chambre à vide ou si elle n'est pas fermée avec

la bride de fermeture.

Eviter de toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires

éventuels pendant les opérations de chauffage. La température

élevée peut être à l'origine de lésions graves.

! ATTENTION!

Lorsque la turbopompe fonctionne, éviter tout choc, oscillation

ou déplacement brusque car les paliers pourraient se détério-

rer.

Pour le refoulement de l'air de la pompe, utiliser de l'air ou du

gaz inerte exempt de poussière ou de particules. La pression

d'entrée à travers la porte prévue à cet effet doit être inférieure

à 1 bar (au-delà de la pression atmosphérique).

Pour le pompage de gaz agressifs, ces pompes sont dotées

d'une porte spéciale à travers laquelle il est nécessaire de four-

nir à la pompe un flux de gaz inerte (azote ou argon) pour pro-

téger les paliers (voir l'appendice "Technical Information").



DANGER!

Lorsque la pompe est utilisée pour le pompage de gaz toxi-

ques, inflammables ou radioactifs, suivre les procédures typi-

ques de chaque gaz.

Ne pas utiliser la pompe en présence de gaz explosifs.

La pompe est conçue pour garantir un transfert élevé de

l’azote, de l’argon et des gaz plus légers.

En cas de pompage de gaz plus lourds que l’argon, contacter le

service technique Varian pour informations.

MODE D’EMPLOI

12 87-900-968-01(C)

Utilisation de la pompe Turbo-V 2K-G

Mise en marche du système

Avant la mise en marche du système, contrôler que le connecteur

E/S soit débranché. Si le système est connecté à un dispositif

Entrée/Sortie à distance, s’assurer que le signal de STOP soit

activé (voir paragraphe “J1 – REMOTE I/O – [J1 – E/S À

DISTANCE”] dans l’appendice "Technical Information").

Pour démarrer le système, effectuer les opérations suivantes :

1. Retirer (si monté) le connecteur E/S.

2. Connecter au réseau.

3. Porter la pression à l’intérieur de la chambre à vide à 0,1

mbar.

4. Donner à la pompe Turbo-V 2K-G le signal de START de

l’une des façons suivantes :

a. Brancher le connecteur E/S fourni.

b. Donner le signal de START à distance à travers

le connecteur E/S (Cf. paragraphe "J1 –

REMOTE I/O [E/S À DISTANCE]" dans

l’appendice "Technical Information").

c. Donner le signal de START à distance à travers

l’interface sérielle RS 232/485 (Cf. paragraphe

"RS 232/485 Communication Description [Des-

cription communication]" dans l’appendice

"Technical Information").



DANGER!

Lorsque le système est branché au réseau et que le connecteur

à 15 broches est connecté, la pompe Turbo-V 2K-G se met

automatiquement en marche.

!ATTENTION!

Le contrôleur est fourni déjà connecté (connexion mécanique et

électrique) à la pompe. La séparation du contrôleur du corps de

la pompe peut être effectuée uniquement par le personnel auto-

risé par la société Varian Vacuum Technologies.

NOTE

Lors de la première mise en marche de la pompe Turbo-V 2K-G

le contrôleur lance automatiquement le système en exécutant

une procédure spéciale qui protège les paliers contre tout ris-

que d’endommagement (SOFT START). Le système est lancé

progressivement jusqu’à ce qu’il atteigne la vitesse maximum,

en un temps qui peut varier de 10 minutes à 1 heure. Dès que

le système atteint sa vitesse maximum, la procédure de "soft

start" est désactivée et les démarrages suivants sont effectués

en mode normal.

NOTE

Pour garantir l’indice de protection IP-54 n’utiliser que les connec-

teurs fournis avec la pompe. Pour l’alimentation, utiliser exclusive-

ment un câble type PN: 969-9957 ou 969-9958, et le fixer au

contrôleur à l’aide de la bride prévue (voir la figure ci-dessous).

Utiliser ce câble et cette fiche avec une prise connectée d’une

manière adéquate à terre pour éviter des décharges électriques

et satisfaire les requis des normes CE.

Le système est muni d’un LED vert piloté par un signal d’état.

La LED verte LD1 placée sur le panneau de la base du Turbo-V

2K-G indique, par sa fréquence de clignotement, les conditions

opérationnelles du système:

- allumée fixe: la pompe est en rotation normale;

- clignote lentement (période d'environ 400 ms): le système

est en état de rampe, de freinage, de stop ou d’attente in-

terlock.

- clignote rapidement (pédiode d'environ 200 ms): condition

d'erreur.

Arrêt du système

Pour arrêter la pompe, opérer dans l’un des modes suivants :

1. Débrancher le connecteur E/S.

2. Envoyer un signal de STOP à distance à travers le

connecteur E/S (Cf. paragraphe "J1 – REMOTE I/O [E/S

À DISTANCE]" dans l’appendice "Technical Information").

3. Envoyer un signal de STOP à distance via l’interface

sérielle RS 232/485 (Cf. paragraphe "RS 232/485 Com-

munication Description" dans l’appendice "Technical In-

formation").

Arrêt d'urgence

Pour arrêter le Turbo-V 2K-G en conditions d'urgence, il faut

débrancher le cordon d'alimentation du contrôleur.

ENTRETIEN

Le Turbo-V 2K-G n'exige aucun entretien particulier. Toute

intervention doit être effectuée par un personnel agréé.



DANGER!

Avant toute intervention sur le système, le débrancher, refouler

l'air de la pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet,

attendre jusqu'à l'arrêt complet du rotor et jusqu'à ce que la

température superficielle de la pompe soit inférieure à 50°C.

En cas de panne, il est possible de bénéficier du service répa-

rations Varian ou du "Varian advanced exchange service" qui

permet d'obtenir un système régénéré en remplacement du

système endommagé.

NOTE

Avant de renvoyer une pompe au constructeur pour réparation

ou "advanced exchange service", remplir et faire parvenir au

bureau Varian de votre région la fiche "Sécurité et Santé" jointe

au présent manuel d'instructions. Une copie de cette fiche de-

vra être mise dans l'emballage de la pompe avant l'expédition.

En cas de mise au rebut de la pompe, procéder à son élimina-

tion conformément aux réglementations nationales concernant

la gestion des déchets.

INSTRUCCIONES DE USO

13 87-900-968-01(C)

Indicaciones de Seguridad

para

Bombas Turbomoleculares

Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen

una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en combi-

nación a la masa específica de sus rotores.

En el caso de un daño del sistema, por ejemplo por un contacto entre el rotor y el estator o

por una rotura del rotor, la energía de rotación podría ser liberada.



¡PELIGRO!

Para evitar daños a los equipos y prevenir lesiones a los operadores, es

necesario seguir atentamente las instrucciones de instalación descritas

en el presente manual!

INSTRUCCIONES DE USO

14 87-900-968-01(C)

INFORMACIÓN GENERAL

Este equipo es para uso profesional. El usuario ha de leer

atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier

otra información suplementaria facilitada por Varian antes de

usar el aparato. Varian se considera libre de posibles

responsabilidades debidas al incumplimiento total o parcial de

las instrucciones, al uso impropio por parte de personal no

preparado, a operaciones no autorizadas o a un uso contrario a

las normas nacionales específicas.

El sistema está en condiciones de bombear diferentes tipos de

gas y de compuestos gaseosos pero no es adecuado para

bombear líquidos ni partículas sólidas.

El efecto de bombeo se obtiene mediante una turbina rotativa

de alta velocidad (33000 r.p.m. máx.) movida por un motor

eléctrico trifásico de alto rendimiento. El Turbo-V 2K-G no

posee ningún agente contaminante y por lo tanto es adecuado

para aplicaciones que requieren un vacío’ “limpio”.

Además cuenta con conectores auxiliares mediante los cuales

es posible pilotearlo de remoto a través de un ordenador host

conectado con línea serie (RS232 o RS485).

A continuación se facilita toda la información necesaria para

garantizar la seguridad del operador al usar el aparato. En el

anexo “Technical Information” se facilita información más

detallada.

Este manual utiliza las convenciones siguientes:



¡PELIGRO!

Los mensajes de peligro atraen la atención del operador sobre

un procedimiento o una ejecución específica que, de no

realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones

personales.

! ¡ATENCIÓN!

Los mensajes de atención se visualizan antes de los

procedimientos que, de no cumplirse, podrían provocar daños

al aparato.

NOTA

Las notas contienen información importante extraída del texto.

ALMACENAMIENTO

Para garantizar el nivel máximo de funcionalidad y fiabilidad de

las bombas turbomoleculares Varian, deberán aplicarse las

siguientes instrucciones:

• durante el transporte, desplazamiento y almacenamiento

de las bombas no deberán superarse las siguientes

condiciones ambientales:

• temperatura: entre –20 °C y 70 °C;

• humedad relativa: entre 0 y 95 % (no condensante);

• el cliente deberá activar siempre las bombas

turbomoleculares en modalidad Soft-Start al recibirlas y

ponerlas en funcionamiento por primera vez;

• el período máximo de almacenamiento de una bomba

turbomolecular es de diez meses a contar de la fecha de

envío al cliente.

! ¡ATENCIÓN!

En caso de superarse por cualquier motivo el período máximo

permitido de almacenamiento, será necesario devolver la

bomba al fabricante. Para mayores informaciones al respecto,

se ruega contactar con el representante local de Varian.

PREPARACIÓN PARA LA INSTALACIÓN

El Turbo-V 2K-G se suministra en un embalaje especial de

protección; si se observan daños, que podrían haberse

producido durante el transporte, ponerse en contacto con la

oficina local de ventas.

Durante la operación de desembalaje, tener cuidado de que no

se caiga el Turbo-V 2K-G y de no someterlo a golpes o

vibraciones.

Debido a su peso (35 kg) para extraer la bomba del embalaje

deben utilizarse las tres armellas en 120° que se encuentran

enroscadas en el cuerpo bomba.

No abandonar el embalaje en el medio ambiente. El material es

completamente reciclable y cumple con la directiva CEE 85/399

para la preservación del medio ambiente.

! ¡ATENCIÓN!

Para evitar problemas de desgasificación, no tocar con las

manos desnudas los componentes destinados a exponerse al

vacío. Utilizar siempre guantes u otra protección adecuada.

NOTA

La Turbo-V 2K-G no puede sufrir daños sólo por quedar

expuesta a la acción de la atmósfera. No obstante, se aconseja

mantener la bomba cerrada y sellada hasta el momento de

instalarla en el sistema a fin de prevenir la contaminación del

mismo.

El embalaje de la Turbo-V 2K-G contiene:

1. bomba con controlador integrado;

2. inlet screen (montado);

3. el presente manual en CD-ROM;

4. bolsa con accesorios;

5. ensamble de conector de 15 vías “REMOTE I/O” IP-54

que incluye las conexiones necesarias para reactivar la

bomba;

6. ensamble de conector de 9 vías “SERIAL” IP-54 a utilizar

para efectuar la conexión serie;

7. ensamble de conector de 9 vías "Network" MoniTorr;

8. abrazadera para retener el cable de alimentación

(montada).

INSTRUCCIONES DE USO

15 87-900-968-01(C)

INSTALACIÓN



¡PELIGRO!

Siempre a causa de su peso, la bomba debe ser manejada

utilizando medios específicos de elevación y desplazamiento.

Para ello deben utilizarse las correspondientes armellas

enroscadas en los respectivos agujeros practicados en el

cuerpo de la bomba misma.

! ¡ATENCIÓN!

No retirar la cubierta empernada antes de haber conectado la

bomba de turbina al sistema.

No instalar ni/o utilizar la bomba en lugares expuestos a

agentes atmosféricos (lluvia, hielo y nieve), polvo y gases

agresivos, en lugares explosivos o con alto riesgo de incendio.

Durante el funcionamiento es necesario que se respeten las

condiciones ambientales siguientes:

- presión máxima: 2 bares por encima de la presión

atmosférica

- temperatura: de +5ºC a +40ºC (véase gráfico en el anexo

“Technical Information”)

- humedad relativa: 0-95% (no condensadora).

Cuando existan campos electromagnéticos, la bomba ha de

protegerse mediante pantallas oportunas. Véase el anexo

“Technical Information” para más detalles.

El Turbo-V 2K-G ha de conectarse a una bomba primaria

(véase diagrama en “Technical Information”).

El Turbo-V 2K-G puede instalarse en cualquier posición. Fijar el

Turbo-V 2K-G en posición estable conectando la brida de

entrada de la turbobomba a una contrabrida fija que puede

resistir a un par de 10600 Nm alrededor de su eje.

La bomba de turbina con brida de entrada ISO debe fijarse por

medio de pernos a la cámara de vacío. En la siguiente tabla se

indican el número de pernos necesarios y el par de apriete

aconsejado por Varian para fijarlos.

BRIDA

TIPO DE

MORDAZA

N.

PAR DE

APRIETE

ISO 250 F Perno con rosca M10 12 22 Nm

NOTA

La Turbo-V 2K-G no puede ser fijada por medio de su base. En

efecto, el sistema puede fijarse únicamente mediante su brida

ISO 250F. La fijación debe realizarse de conformidad con lo

establecido por la norma ISO 1609.

Deben utilizarse pernos de acero cuya clase de resistencia sea

de al menos 500 N/mm

2

.

! ¡ATENCIÓN!

El Turbo-V 2K-G pertenece a la segunda categoría de

instalación (o sobretensión) prevista por la normativa EN

61010-1. Por lo tanto este dispositivo debe ser conectado a

una línea de alimentación adecuada para dicha categoría.

Para garantizar el aislamiento IP-54 deben utilizarse los

ensambles de conectores suministrados adjuntos.

El Turbo-V 2K-G tiene conectores para las entradas/salidas y

para la comunicación serial que deben ser conectados a los

circuitos externos de manera que ninguna parte bajo tensión

quede accesible.

Controlar que el aislamiento del dispositivo conectado al Turbo-

V 2K-G mantenga una acción aisladora incluso en caso de

verificarse una avería, de conformidad con lo establecido por la

normativa EN 61010-1.

Para instalar los accesorios opcionales, véase “Technical

Information”.

USO

En este apartado se citan los procedimientos operativos

principales. Antes de usar el sistema realizar todas las

conexiones eléctricas y neumáticas. Durante el posible

calentamiento de la cámara de vacío, la temperatura de la

brida de entrada no ha de ser superior a 80ºC.

Durante el funcionamiento de la bomba la temperatura del rotor

no deberá superar nunca los 120 °C.

El operador deberá verificar siempre que el modo de

funcionamiento que ha predispuesto sea adecuado para el gas

que se debe bombear, esto es: 1 para nitrógeno y gases más

ligeros, 0 para argón (modo predeterminado). Para mayores

detalles véase el apéndice "Technical Information".



¡PELIGRO!

No hacer funcionar nunca la bomba si la brida de entrada no

está conectada al sistema o no está cerrada con la brida de

cierre.

No tocar la turbobomba y sus posibles accesorios durante las

operaciones de calentamiento. La alta temperatura puede

provocar lesiones a las personas.

! ¡ATENCIÓN!

Evítense golpes, oscilaciones o bruscos desplazamientos de la

turbobomba durante su funcionamiento. Los cojinetes podrían

dañarse.

Para el envío de aire de la bomba utilizar aire o gas inerte sin

polvo o partículas. La presión de entrada a través de la puerta

deberá ser inferior a 1 bar (por encima de la presión

atmosférica).

Para bombear gases agresivos estas bombas están dotadas

de una puerta específica mediante la cual es necesario

suministrar a la bomba un caudal de gas inerte (Nitrógeno o

Argón) para proteger los rodamientos (véase el anexo

“Technical Information”).



¡PELIGRO!

Cuando la bomba se utiliza para bombear gases tóxicos,

inflamables o radioactivos, seguir los procedimientos

apropiados típicos de cada gas.

No usar la bomba cuando haya gases explosivos.

La bomba ha sido proyectada para una elevada transferencia

de nitrógeno, argón y gases más ligeros.

En caso de que deban bombearse gases más pesados que el

argón se ruega tomar contacto con la Asistencia Técnica de

Varian a fin de recibir mayores informaciones.

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Varian 969-8871 Instrukcja obsługi

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