Varian 969-8903 Instrukcja obsługi

Strona jest ładowana ...

INSTRUKCJA UZYTKOWANIA

37 87-900-983-01(B)

Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa

dla

Pomp Turbomolekularnych

Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsługi posiadają wysoką energię

kinetyczną spowodowaną bardzo wysoką prędkością obrotów razem z masą właściwą

wirników.

W przypadku uszkodzenia systemu, na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a

stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika, energia obrotowa może być zwolniona.

,

NIEBEZPIECZEŃSTWO!

Aby uniknąć uszkodzenia aparatury i zapobiec uszkodzeniom ciała

operatorów, należy obowiązkowo przestrzegać zalecenia dotyczące

instalacji opisane w niniejszej instrukcji obsługi!

INSTRUKCJA UZYTKOWANIA

38 87-900-983-01(B)

OGÓLNE INFORMACJE

Ta aparatura jest przeznaczona do użytku zawodowego.

Użytkownik musi przeczytać bardzo uważnie niniejszą

instrukcję każdą dodatkową informację dostarczoną przez firmę

Varian przed użytkowaniem aparatury. Firma Varian uchyla się

od jakiejkolwiek odpowiedzialności w przypadku częściowego

lub całkowitego braku przestrzegania instrukcji, w przypadku

niewłaściwego użytkowania przez nieprzeszkolony personel, w

przypadku nieupoważnionych interwencji jak i w przypadku

braku zastosowania odpowiednich norm krajowych.

Pompy z serii Turbo-V 81-M to pompy turbomolekularne

przeznaczone są do wywoływania wysokiej i ultra wysokiej

próżni, są wstanie pompować jakikolwiek typ gazu lub

mieszanki gazowej nie korozyjnej. Nie znajdują one

zastosowania do pompowania płynów lub cząstek ciał stałych.

Zjawisko pompowania jest uzyskane poprzez obrotową turbinę

o wysokiej prędkości (max. 80000 obr./min) napędzaną przez

elektryczny silnik trójfazowy o wysokiej wydajności. System

Turbo-V 81-M jest całkowicie bez czynników

zanieczyszczających, i dlatego też

jest to system odpowiedni

do zastosowań gdzie jest wymagana tzw.”czysta” próżnia.

W następnych paragrafach zostały przedstawione wszystkie

potrzebne informacje w celu zagwarantowania bezpieczeństwa

operatora podczas użytkowania aparatury. Szczegółowe

informacje zostały przedstawione w dodatku dotyczącym

informacji technicznych „Informacje Techniczne”.

W tej instrukcji zastosowano następujące umowne

znaczenia:

,

NIEBEZPIECZEŃSTWO!

Komunikaty niebezpieczeństwa przyciągają uwagę operatora

co do danej procedury lub danego postępowania którego

nieprawidłowe wykonanie mogłoby spowodować poważne

uszkodzenia ciała.

 UWAGA !

Komunikaty zwiększonej uwagi są wyświetlane przed

procedurami i w przypadku ich braku przestrzegania, może

dojść do uszkodzenia aparatury.

INFORMACJA

Są to ważne informacje wyciągnięte z tekstu.

MAGAZYNOWANIE

W celu zagwarantowania najwyższego poziomu funkcjonalnego

i niezawodności pomp turbomolekularnych Varian, muszą być

przestrzegane następujące zalecenia:

• podczas transportu, przesunięcia i magazynowania pomp,

nie mogą być przekroczone następujące warunki

środowiskowe:

• temperatura: od -20 °C do 70 °C

• względna wilgoć od 0 do 95% ( bez opar)

• klient po otrzymaniu i przygotowaniu po raz pierwszy pomp

turbomolekularnych, musi je zawsze uruchomić w sposób

Soft-Start

• czas magazynowania danej pompy turbomolekularnej

wynosi 10 miesięcy od daty wysyłki.

 UWAGA !

Jeżeli z jakiegokolwiek powodu, czas magazynowania jest

dłuższy, należy odesłać pompę do fabryki. W celu jakiejkolwiek

informacji, prosimy skontaktować się z miejscowym

przedstawicielem firmy Varian.

PRZYGOTOWANIE DO INSTALACJI

System Turbo-V 81-M jest dostarczany w specjanym

ochronnym opakowaniu; w przypadku śladów uszkodzeń do

których mogłoby dojść podczas transportu, należy

skontaktować się z miejscowym biurem sprzedaży.

Podczas operacji rozpakowywania, należy zwrócić szczególną

uwagę aby nie spowodować upadku systemu Turbo-V 81-M ani

nie poddawać go uderzeniom lub wibracjom. Nie porzucać

opakowania w środowisku.

Materiał ten nadaje się całkowicie do recyklingu zgodny jest z

dyrektywą UE 855/399 dotyczącej ochrony środowiska.

 UWAGA !

Aby uniknąć problemów odgazowywania, należy nie dotykać

gołymi rękoma części przeznaczonych do próżni. Należy

zawsze stosować odpowiednie rękawice ochronne lub

odpowiednie zabezpieczenie.

INFORMACJA

Turbo-V 81-M, nie może być uszkodzony poprzez wystawienie

go na działanie atmosfery. Mimo to zaleca się aby pompa do

momentu jej instalacji na systemie, pozostała zamknięta w celu

uniknięcia zanieczyszczenia jej pyłem.

INSTALACJA

 UWAGA !

Usunąć taśmę klejącą i zdjąć korek zabezpieczający tylko w

momencie połączenia pompy do systemu.

Nie instalować i / lub użytkować pompy w otoczeniach

wystawionych na czynniki atmosferyczne (deszcz, mróz, śnieg),

pyły, gazy chemiczne, w środowiskach wybuchowych lub z

wysokim zagrożeniem pożaru.

Podczas działania obowiązkowo należy przestrzegać

następujące warunki otoczenia:

− maksymalne ciśnienie: 2 bary ponad ciśnieniem

atmosferycznym

− temperatura: od + 5 °C do +35 °C (patrz wykres graficzny w

dodatku “Informacje Techniczne”)

− względna wilgoć 0 -95% (bez opar).

W obecności pól elektromagnetycznych pompa musi być

odpowiednio zabezpieczona przez odpowiednie ekranowanie.

W celu szczegółowego zapoznania się z tematem patrz

dodatek “Informacje Techniczne”.

INSTRUKCJA UZYTKOWANIA

39 87-900-983-01(B)

Pomp turbomolekularnych z serii Turbo-V 81-M należy używać

wyłącznie wraz ze specjalnym kontrolerem Varian i muszą być

one podłączone do pompy głównej (zobacz schemat w

"Informacje Techniczne ").

Kontrolery będące w dyspozycji są następujące:

- Rack controller 81-AG: 969-8988

- Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989

- Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990

- PCB 24 V 969-9538

Turbo-V 81-M może być zainstalowany w jakiejkolwiek pozycji.

Zamocować Turbo-V 81-M w stabilnej pozycji, łącząc kołnierz

wejściowy turbopompy do kołnierza stałego wytrzymałego na

obciążenie 1000 Nm wokół własnej osi.

Na przykład kołnierz ISO 63 może być zamocowany z

zaciskami stalowymi o wysokiej wytrzymalności (typ modelu

Varian IC 63250 DCMZ).

Niniejsza tabela przedstawia dla każdego wymiaru kołnierza,

ilość potrzebnych zacisków i moment na jaki trzeba je dokręcić.

KOŁNIERZ TYP

ZACISKU

Nr. MOMENT

DOKRĘCENIA

Podwójny zacisk

z gwintem M10

4 22 Nm ISO 63

Pojedynczy zacisk

z gwintem M8

4 11 Nm

Turbopompa z kołnierzem wejściowym ConFlat musi być

zamocowana do komory próżniowej poprzez odpowiednie

drobne układy mechaniczne firmy Varian. W celu dodatkowych

informacji należy zapoznać się z dodatkiem “Informacje

Techniczne”

INFORMACJA

Turbo-V 81-M nie może być mocowany poprzez własną podstawę.

 UWAGA !

Turbo-V 81-M należy do drugiej kategorii instalacji (lub

nadnapięcia) przewidzianej przez normę EN 61010-1. Dlatego

też podłączyć urządzenie do linii zasilania która spełni te

wymogi.

Aby zainstalować opcjonalne akcesoria, należy zapoznać się z

„Informacje Techniczne”.

UŻYTKOWANIE

Wszystkie instrukcje dotyczące prawidłowego funkcjonowania

pompy turbinowej zostały opisane w instrukcji użytkowania

jednostki kontroli. Przed użytkowaniem uważnie przeczytać

wspomniane instrukcje.

By uzyskać optymalne dopuszczalnie ciśnienie, przewidziane

zostało ewentualne nagrzanie systemu.

Podczas ewentualnego nagrzewania kamery próżniowej,

temperatura na kołnierzu złącznym nie powinna przekraczać

120 °C z wywiniętym kołnierzem ConFlat oraz 80 °C i z

wywiniętym kołnierzem ISO.

Zawsze stosować chłodzenie wodne podczas fazy

nagrzewania.

,

NIEBEZPIECZEŃSTWO!

Nigdy nie należy uruchomić pompę w przypadku kiedy kołnierz

wejściowy nie jest podłączony do komory lub nie jest zamknięty

z kołnierzem zamknięcia.

Nie dotykać turbopompy i jej ewentualnych akcesoriów podczas

operacji nagrzewania. Wysoka temperatura może spowodować

uszkodzenia ciała na osobach.

 UWAGA !

Unikać uderzeń, wahań lub gwałtownych przesunięć

turbopompy podczas jej działania. Mogą uszkodzić się łożyska.

Dla wlotu do powietrza pompy zastosować powietrze lub

obojętny gaz bez pyłu lub innych cząstek. Ciśnienie wejściowe

poprzez odpowiedni wlot musi być niższe od 2 bar ( ponad

ciśnienie atmosferyczne).

Dla pompowania niszczących gazów, pompy te są wyposażone

w odpowiedi wlot poprzez który należy dostarczyć pompie

przepływ obojętnego gazu (Azot i Hel) dla zabezpieczenia

łożysk (Patrz dodatek „Informacje Techniczne”).

,

NIEBEZPIECZEŃSTWO!

Kiedy pompa jest zastosowana do pompowania gazów

toksycznych, łatwo palnych lub radioaktywnych, należy

wykonać odpowiednie procedury typowe dla każdego z gazów.

Nie stosować pompy w obecności gazów wybuchowych.

KONSERWACJA

Pompy z serii Turbo-V 81-M nie wymagają żadnej konserwacji.

Jakakolwiek interwencja musi być wykonana przez

upoważniony personel.

,

NIEBEZPIECZEŃSTWO!

Przed wykonaniem jakiejkolwiek interwencji na systemie,

należy odłączyć go od zasilania, otworzyć odpowiedni zawór

dla wlotu powietrza, odczekać aż do całkowitego zatrzymania

wirnika i odczekać aż temperatura powierzchni pompy będzie

wynosiła poniżej 50°C.

W przypadku usterki możliwe jest skorzystanie z serwisu

naprawczego Varian lub "Varian advanced exchange

service",który pozwoli na uzyskanie zregenerowanego systemu

w zastępstwie uszkodzonego systemu.

INFORMACJA

Przed wysyłką do konstruktora systemu do naprawy lub

advanced exchange service, należy obowiązkowo wypełnić i

przekazać do miejscowego biura sprzedaży kartę

„Bezpieczeństwo i Zdrowie” załączoną do niniejszej instrukcji.

Jeden egzemplarz –kopia- karty musi być włożony do

opakowania systemu przed jego wysyłką.

Jeżeli system musi być poddany rozbiórce, należy przystąpić

do jego eliminacji zgodnie z obowiązującymi krajowymi

normami w meritum sprawy.

PRZETWORSTWO ODPADOW

Objasnienie znajdujacego sie na etykiecie znaczenia logo

“WEEE”.

Uzyty ponizej symbol jest zgodny z wymogiem zarzadzenia

“WEEE” Unii Europejskiej.

Symbol ten (prawomocny tylko w krajach Unii

Europejskiej) oznacza, ze wyrob ktory nim zostal oznaczony

NIE moze byc przetworzony jako odpad razem z innymi

domowymi lub przemyslowymi natomiast musi byc skladowany

w miejscu przeznaczonym dla odpadow do przerobki

zroznicowanej .

Dlatego tez poleca sie uzytkownikowi, , po uprzedniej

weryfikacji terminu i warunkow zawartych w kontrakcie

sprzedazy, nawiazac kontakt z dostawca lub sprzedawca

urzadzenia w celu uruchomienia procesu zbiorki i przerobu.

Strona jest ładowana ...

Varian 969-8903 Instrukcja obsługi

Ten podręcznik jest również odpowiedni dla

Varian 969-8903 Instrukcja obsługi

w innych językach

Powiązane dokumenty

Inne dokumenty